[发明专利]显示基板、显示器件及其制造方法

权利要求书

1、一种柔性显示基板，包含：

在所述柔性基板上的薄膜晶体管，所述薄膜晶体包括栅极、绝缘所述栅极的栅绝缘层、在所述栅绝缘层上的沟道层、与所述沟道层连接的源极，和与所述沟道层连接的漏极。

位于所述薄膜晶体管下面的第一应力吸收层；

位于所述第一应力吸收层上的第一保护层；

位于所述薄膜晶体管上的第二应力吸收层；

位于所述第二应力吸收层上的第二保护层；以及

位于所述第二保护层上的像素电极，所述像素电极与所述漏极连接。

2、根据权利要求1所述的柔性显示器件，其特征在于，进一步包含在所述第二应力吸收层和所述薄膜晶体管之间的第三保护层。

3、根据权利要求2所述的柔性显示器件，其特征在于，

其中所述第一应力吸收层包括有机层；

其中所述第一保护层包括无极层；

其中所述第二应力吸收层包括有机层；

其中所述第二保护层包括无机层；以及

其中所述第三保护层包括无机层。

4、根据权利要求1所述的柔性显示器件，其特征在于，进一步包含在所述像素电极上的第三应力吸收层。

5、根据权利要求4所述的柔性显示器件，其特征在于，所述第三应力吸收层包括有机层。

6、一种制造柔性显示基板的方法，其特征在于，包含：

在所述柔性基板上形成第一应力吸收层；

在所述第一应力吸收层上形成第一保护层；

在所述第一保护层上薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括栅极、绝缘所述栅极的栅绝缘层、在所述栅绝缘层上的沟道层、与所述沟道层连接的源极和与所述沟道层连接的漏极；

在所述薄膜晶体管上形成第二应力吸收层；

在所述第二应力吸收层上形成第二保护层；以及

在所述第二保护层上形成像素电极，所述像素电极与所述漏极连接。

7、根据权利要求6所述的方法，其特征在于，进一步包含在所述第二应力吸收层和所述薄膜晶体管之间形成第三保护层。

8、根据权利要求7所述的方法，其特征在于，

其中所述第一应力吸收层包括有机层；

其中所述第一保护层包括无机层；

其中所述第二应力吸收层包括有机层；

其中所述第二保护层包括无机层；以及

其中所述第三保护层包括无机层。

9、根据权利要求6所述的方法，其特征在于，进一步包含在所述像素电极上的第三应力吸收层。

10、根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述第三应力吸收层包括有机层。

11、一种制造电泳墨柔性显示器件的方法，包含：

在柔性基板上形成第一应力吸收层；

在所述第一应力吸收层上形成第一保护层；

在所述第一保护层上形成薄膜晶体管，该薄膜晶体管包括栅极、绝缘所述栅极的栅绝缘层、在所述栅绝缘层上的沟道层、与所述沟道层连接的源极，以及与所述沟道层连接的漏极；

在所述薄膜晶体管上形成第二应力吸收层；

在所述第二应力吸收层上形成第二保护层；

在所述第二保护层上形成像素电极，该像素电极与所述漏极连接；以及

在所述柔性基板上形成电泳墨薄膜。

12、根据权利要求11所述的方法，其特征在于，进一步包含在所述第二应力吸收层和所述薄膜晶体管之间形成第三保护层。

13、根据权利要求12所述的方法，其特征在于，

其中所述第一应力吸收层包括有机层；

其中所述第一保护层包括无机层；

其中所述第二应力吸收层包括有机层；

其中所述第二保护层包括无机层；以及

其中所述第三保护层包括无机层。