[发明专利]化学放大型抗蚀剂组合物

权利要求书

1.一种化学放大型抗蚀剂组合物，其包含：

(A)由式(I)表示的盐：

其中，R²¹表示可以被取代的C1-C30烃基，并且在该烃基中的至少一个-CH₂-可以被-CO-或-O-取代，Q¹和Q²各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，并且

A⁺表示选自式(Ia)表示的阳离子、式(Ib)表示的阳离子和式(Ic)表示的阳离子中的至少一种有机阳离子，

在式(Ia)中，P¹、P²和P³各自独立地表示可以被选自羟基、C3-C12环烃基和C1-C12烷氧基中的至少一个取代的C1-C30烷基；或者可以被选自羟基和C1-C12烷氧基中的至少一个取代的C3-C30环烃基，

在式(Ib)中，P⁴和P⁵各自独立地表示氢原子、羟基、C1-C12烷基或C1-C12烷氧基，以及

在式(Ic)中，P¹⁰、P¹¹、P¹²、P¹³、P¹⁴、P¹⁵、P¹⁶、P¹⁷、P¹⁸、P¹⁹、P²⁰和P²¹各自独立地表示氢原子、羟基、C1-C12烷基或C1-C12烷氧基，B表示硫或氧原子，并且m表示0或1，

(B)由式(II)表示的盐：

A′^+-O₃S-Q³    (II)

其中，Q³表示C1-C10全氟烷基或C4-C8全氟环烷基，并且A’⁺表示由式(IIa)表示的有机阳离子，

在式(IIa)中，P⁶和P⁷各自独立地表示C1-C12烷基或C3-C12环烷基，或者P⁶和P⁷结合形成C3-C12二价无环烃基，该二价无环烃基与相邻的S⁺一起形成环，并且所述二价无环烃基中的至少一个-CH₂-可以被-CO-、-O-或-S-取代，

P⁸表示氢原子，P⁹表示可以被取代的C1-C12烷基、C3-C12环烷基或者芳族基，或者P⁸和P⁹结合形成二价无环烃基，该二价无环烃基与相邻的-CHCO-一起形成2-氧代环烷基，并且所述二价无环烃基中的至少一个-CH₂-可以被-CO-、-O-或-S-取代；以及

(C)树脂，所述树脂包含具有酸-不稳定基团的结构单元，并且所述树脂本身不溶于或难溶于碱性水溶液，但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液。

2.根据权利要求1所述的化学放大型抗蚀剂组合物，其中A⁺是由式(Id)、(Ie)或(If)表示的阳离子：

其中P²⁸、P²⁹和P³⁰各自独立地表示C1-C20烷基或者除苯基外的C3-C30环烃基，并且在所述C1-C20烷基中的至少一个氢原子可以被羟基、C1-C12烷氧基或者C3-C12环烃基取代，并且在所述C3-C30环烃基中的至少一个氢原子可以被羟基、C1-C12烷基或者C1-C12烷氧基取代；并且

P³¹、P³²、P³³、P³⁴、P³⁵和P³⁶各自独立地表示羟基、C1-C12烷基、C1-C12烷氧基或者C3-C12环烃基，并且l、k、j、i、h和g各自独立地表示0至5的整数。