[发明专利]控制系统和用于控制系统的接口

说明书

技术领域

本发明涉及控制系统和用于控制系统的接口，并且具体而不排他地涉及涉及用于洁净室或者洁净区的服务器和至少一个操作系统之间的控制系统和用于控制系统的接口。

背景技术

在某些制造过程中，希望降低空气污染的水平。例如，在半导体制造或者实验室中，经常使用“洁净室”，其中空气污染的水平低于严格标准。例如，美国联邦总务署所制定的联邦标准209E和国际标准化组织所制定的ISO 14644-1/2建立了用于洁净室和洁净区中的空气悬浮颗粒水平的空气洁净度标准等级。

图1中示出了现有技术的洁净室100的一个示例。基本密封的内室102被提供有来自安装在天花板105之上或者之中的一系列风扇过滤单元(“FFU”)的洁净空气。每个FFU 104接收来自空气供给系统106的空气。该过滤器例如可以是高效微粒空气(HEPA)过滤器和/或超高空气效(ULPA)过滤器。通过过滤器进入内室的气流是由风扇控制的。风扇优选地生成通过过滤器的层流。风扇可以由变速AC或DC电机来驱动。

FFU 104通常操作用于在内室102中产生比外室108和空气供给系统106的压力更高的压力。该过压防止来自外室108或者来自外部空气供给系统106中的任何“不洁”空气或者污染物渗入内室102。压力差越大，则污染几率越低。

给定的FFU 104可能会产生低于预期的气流，这有许多种原因。最常见的原因是过滤器被阻塞。无论是什么原因，如果所需气流未被生成，洁净室中的压力就有可能降低。这意味着更高的污染几率。

另外，在存在大量FFU的装置中，装置的一个区域中的情况可能与另一个区域中的情况不同。例如，一个区域可能受到烟气或者其他大气污染物的输出。在这种情况下，该特定区域可能需要FFU被非常快速地关闭以使烟气的散布最小化。

图2A中示出了现有技术的洁净室控制系统200的一个示例。每个FFU 104经由网络206和与之相关的协议转换器/网关208连接到服务器210。服务器210然后可以经由网络214连接到一个或者多个客户端终端212。FFU 104可被分组布置，其中每个组中有两个或者更多的FFU。每个组都具有网关208。如果用于相关组中的FFU的指令具有不适于这些FFU的格式或者协议，则可能需要在网关208中进行协议转换。

可以使用客户端终端和加载在服务器上的软件来对室中的总压力进行设置和/或监视。如果需要，软件可以允许对单独FFU的速度进行设置，并且传感器所检测到的实际速度可以能够被记录。软件通过网络相应地控制每个FFU，以提供期望的性能。

但是，在网络或者硬件发生故障的情况下，将失去对FFU的控制。唯一的备选方案是将单独的手动控制器连接到每个FFU，这可能会非常耗时，并且可能产生污染。另外，单独FFU或者一组FFU的紧急定位控制是不可能的。这也适用于洁净室的其他操作系统，这些操作系统包括但不限于：空气吹淋室、建筑管理系统、照明系统、警报系统、安全系统、温度控制系统，以及气流控制系统。

发明内容

一般而言，本发明在第一方面提出在洁净室控制系统中每个网关是本地存储控制设定的接口，这些控制设定被与中央服务器同步。这可具有以下优点，即接口可以根据本地存储的设定来操作每个操作系统。

在第二独立方面中，在洁净室控制系统中每个接口可具有控制面板，该控制面板实现对操作系统的本地控制。这可具有以下优点，即接口可以根据本地用户设定来操作每个操作系统。

在第一示例性方面中，提供了一种位于服务器与洁净室的至少一个操作系统之间的接口，该接口包括：

存储器，该存储器被配置为存储来自从服务器发送到至少一个操作系统的控制信号的控制设定的副本；以及

处理器，该处理器被配置为在满足预定条件的情况下基于所存储的控制设定的副本将控制信号发送到至少一个操作系统。

接口还可以包括：用户接口，该用户接口被配置为接收用户设定；以及处理器，该处理器被配置为基于所存储的控制设定的副本和用户设定中的至少一种将控制信号发送到至少一个操作系统。至少一个操作系统可以是从以下组中选出的至少一种，所述组由多个风扇过滤单元、空气吹淋系统、建筑管理系统、照明系统、警报系统、安全系统、温度控制系统和气流控制系统组成。用户设定可以用于单个风扇单元、较少的多个风扇过滤单元、一组风扇过滤单元和多组风扇过滤单元中的一种。

根据第二示例性方面，提供了一种位于服务器与洁净室或者洁净区的至少一个操作系统之间的接口，该接口包括：

用户接口，该用户接口被配置为接收用户设定；