[发明专利]针测系统

权利要求书

1.一种针测系统，包括：

主体；

测试装置，配置于该主体的上方；

针测卡，配置于该测试装置与该主体之间；以及

强化机构，配置于该针测卡与该测试装置之间，用以使该针测卡承靠于其下，该强化机构包括至少一弹性件。

2.如权利要求1所述的针测系统，其中该强化机构还包括上面板与下面板，且该下面板距离一高度固定于该上面板的下方。

3.如权利要求2所述的针测系统，其中该弹性件配置于该上面板与该下面板之间。

4.如权利要求2所述的针测系统，其中该上面板的尺寸大于该下面板的尺寸。

5.如权利要求2所述的针测系统，其中该上面板的材料与该下面板的材料包括钢材。

6.如权利要求2所述的针测系统，其中该上面板的形状与该下面板的形状包括圆形。

7.如权利要求1所述的针测系统，其中该弹性件包括压缩弹簧。

8.如权利要求1所述的针测系统，其中该弹性件以对应该强化机构的中心点的方式配置。

9.如权利要求8所述的针测系统，其中当具有多个弹性件时，所述弹性件以对应该强化机构的中心点向外辐射对称配置。

10.如权利要求1所述的针测系统，其中该测试装置包括测试头与测试基板，该测试头配置于该测试基板的上方。

11.如权利要求10所述的针测系统，其中该强化机构固定于该测试基板下方。

12.如权利要求1所述的针测系统，还包括固定单元，用以将该针测卡固定于该主体。

13.如权利要求1所述的针测系统，还包括载台，配置于该主体中，用以承载待测晶片。