[发明专利]检测玻璃盘的圆周表面缺陷的光学系统及装置

权利要求书

1.一种检测盘的圆周表面缺陷的光学系统，用于检测在盘的外周表面处的缺陷，包括：

光照射系统，其将光束从旋转的玻璃盘的背面通过玻璃盘的内部照射到在玻璃盘的正面一侧处的外周斜面部分上，

光接收器，其被设置成远离外周斜面部分一个预定距离，以及

光阑，其被设置在光接收器的前面，

其中光接收器接收通过光阑在外周斜面部分处透射并折射的光束，并且基于光接收器接收到的光信号来检测在玻璃盘的外周表面处的缺陷。

2.根据权利要求1所述的检测玻璃盘的圆周表面缺陷的光学系统，其中选择光阑的孔直径，以便允许对应于外周斜面部分的宽度的透射光通过。

3.根据权利要求2所述的检测玻璃盘的圆周表面缺陷的光学系统，其中光束是激光束，光照射系统包括激光束的光源以及激光束对其进行照射的反射镜，并且将来自反射镜的反射光照射到玻璃盘的背面以生成透射光。

4.根据权利要求3所述的检测玻璃盘的圆周表面缺陷的光学系统，其中将玻璃盘安装到主轴上，并且将反射镜以沿主轴倾斜的方式设置在玻璃盘的背面一侧。

5.根据权利要求4所述的检测玻璃盘的圆周表面缺陷的光学系统，还包括用于从外周斜面部分接收光束的成像透镜，其中光阑被设置在光接收器和成像透镜之间。

6.根据权利要求5所述的检测玻璃盘的圆周表面缺陷的光学系统，其中反射镜由第一反射镜和第二反射镜构成，来自光源的激光被照射到第一反射镜上并在那里被反射到第二反射镜，来自第二反射镜的反射光被照射到玻璃盘的背面，并且光源以向右上的方式被布置在背面一侧。

7.一种检测盘的圆周表面缺陷的装置，用于检测在盘的外周表面处的缺陷，包括：

光照射系统，其将光束从旋转的玻璃盘的背面通过玻璃盘的内部照射到在玻璃盘的正面一侧处的外周斜面部分上，

光接收器，其被设置成远离外周斜面部分一个预定距离，以及

光阑，其被设置在光接收器的前面，

其中光接收器包括检测圆周表面缺陷的光学系统，该光学系统接收通过光阑在外周斜面部分处透射并折射的光束。

8.根据权利要求7所述的检测玻璃盘的圆周表面缺陷的装置，还包括：

参考电平变化抑制电路，其抑制或消除在光接收器接收到的光信号中由于盘的旋转引起的盘的外周表面的移动而导致的信号参考电平的变化，

其中基于从参考电平变化抑制电路中获得的信号，获得用于检测在外周表面处的缺陷的检测信号。

9.根据权利要求8所述的检测玻璃盘的圆周表面缺陷的装置，其中选择光阑的孔直径，以便允许对应于外周斜面部分的宽度的透射光通过。

10.根据权利要求9所述的检测玻璃盘的圆周表面缺陷的装置，其中参考电平变化抑制电路包括下述滤波器电路：使频率对应于信号参考电平的变化的信号通过的低通滤波器或带通滤波器，或者防止频率对应于信号参考电平的变化的信号通过的高通滤波器，并且基于在接收到的光信号已经通过滤波器电路之后获得的信号来获得在外周表面处的缺陷的检测信号。

11.根据权利要求10所述的检测玻璃盘的圆周表面缺陷的装置，其中光束是激光束，光接收器被布置在关于盘的正面垂直的方向上，滤波器电路包括低通滤波器或带通滤波器以及除去高频噪声和缺陷检测信号的其它高通滤波器，并且参考电平变化抑制电路通过所述其它高通滤波器来除去高频噪声和缺陷检测信号，通过所述其它高通滤波器来获得频率对应于信号参考电平的变化的信号以作为检测参考信号，并通过所述检测参考信号和接收到的光信号的比较来获得关于在外周表面处的缺陷的缺陷检测信号。

12.根据权利要求11所述的检测玻璃盘的圆周表面缺陷的装置，其中将检测参考信号和接收到的光信号输入到比较放大器、比较器和差分放大器的其中之一，并从所述其中之一的输出中获得在外周表面处的缺陷的缺陷检测信号。

13.根据权利要求10所述的检测玻璃盘的圆周表面缺陷的装置，其中高通滤波器是带通滤波器，该带通滤波器消除了具有由于外周表面的移动而导致的频率的信号，提取其中信号参考电平经过平滑处理的接收到的光信号，并且基于提取的接收到的光信号来获得在外周表面处的缺陷的检测信号。