[发明专利]液滴喷出装置、电光装置的制法、电光装置和电子设备

权利要求书

1.一种液滴喷出装置，其一边使工件安放且面对描绘区的安放台相对于功能液滴喷头在扫描方向上移动，一边从所述功能液滴喷头向所述工件喷出功能液来进行描绘，

该液滴喷出装置具备：

喷出检查部件，其具有配置在所述安放台的移动轨迹上并通过来自所述功能液滴喷头的检查喷出而被描绘检查图案的被描绘单元，对描绘于所述被描绘单元上的所述检查图案进行图像识别，来检查所述功能液滴喷头的喷出性能；

工件对准部件，其进行所述工件相对于所述安放台的对准；

台移动部件，其使所述安放台在所述描绘区内沿所述扫描方向移动，并且在所述描绘区与所述描绘区近前的对准位置之间沿所述扫描方向移动；

单元移动部件，其使所述被描绘单元与所述安放台独立地，并且在所述描绘区前方的避让位置与所述功能液滴喷头正下方的检查位置之间沿所述扫描方向移动；和

控制部件，其控制所述功能液滴喷头、所述喷出检查部件、所述台移动部件、所述单元移动部件和所述工件对准部件；

所述控制部件并行进行：使所述安放台移动到所述对准位置并且进行所述工件的对准的对准处理、使所述被描绘单元移动到所述检查位置并且进行所述检查喷出以及所述喷出性能的检查的检查处理。

2.根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，

还具有工件更换部件，其在所述对准位置相对所述安放台进行搬出描绘完毕的工件并搬入描绘前的工件的更换处理，

所述控制部件还控制所述工件更换部件，在使所述安放台移动到所述对准位置后且在进行所述对准之前，进行所述更换处理，并且并行进行所述更换处理和所述检查处理。

3.根据权利要求1或2所述的液滴喷出装置，其特征在于，

所述台移动部件具有：第一动器，其支撑所述安放台；和公共支撑基座，其将所述第一动器滑动自如地支撑在所述扫描方向上；

所述单元移动部件具有：第二动器，其支撑所述被描绘单元；和所述公共支撑基座，其将所述第二动器滑动自如地支撑在所述扫描方向上。

4.根据权利要求3所述的液滴喷出装置，其特征在于，

还具有定期冲洗盒，其配置在所述第二动器上，接受来自所述功能液滴喷头的功能液的抛弃喷出。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的液滴喷出装置，其特征在于，

所述被描绘单元具有：

描绘薄片，其被描绘所述检查图案；

检查台，其安放所述描绘薄片；和

薄片输送部件，其按照将所述描绘薄片的检查完毕部分从所述检查台送出并将未检查完毕部分向所述检查台送入的方式输送所述描绘薄片；

所述控制部件在使所述被描绘单元移动到所述避让位置的状态下，并行进行向所述工件的描绘和所述描绘薄片的输送。

6.根据权利要求5所述的液滴喷出装置，其特征在于，

所述被描绘单元还包括不良检测传感器，其检测由所述检查台送入的所述描绘薄片的安放不良，

所述控制部件在使所述被描绘单元移动到所述避让位置的状态下，并行进行向所述工件的描绘、和基于所述不良检测传感器的所述安放不良的检测。

7.一种电光装置的制造方法，使用权利要求1～6中任一项所述的液滴喷出装置，在所述工件上形成基于功能液的成膜部。

8.一种电光装置，其使用权利要求1～6中任一项所述的液滴喷出装置，在所述工件上形成有基于功能液的成膜部。

9.一种电子设备，其搭载有由权利要求7所述的电光装置的制造方法制造的电光装置、或权利要求8所述的电光装置。