[发明专利]用于化学机械研磨的漩涡电流监测方法和设备

权利要求书

1.一种研磨部件，包括：

研磨垫，包含具有研磨表面的研磨层；以及

位于该研磨层中的固体透明窗，所述透明窗具有与所述研磨表面齐平的顶表面，具有限定凹陷内表面的凹槽的底表面，所述凹槽的凹陷内表面和所述窗口的顶表面之间的较薄区域，以及在所述顶表面和所述底表面之间围绕所述较薄区域的厚区域，所述厚区域并固定于所述研磨垫上。

2.根据权利要求1所述的研磨部件，其特征在于，所述透明窗口由聚氨酯形成。

3.根据权利要求1所述的研磨部件，其特征在于，所述研磨垫进一步包括位于研磨层一侧上与所述研磨表面相对的背层。

4.根据权利要求3所述的研磨部件，其特征在于，开口形成在所述背层中并与所述窗口对齐。

5.根据权利要求3所述的研磨部件，其特征在于，所述厚区域固定于所述背层上。

6.根据权利要求1所述的研磨部件，其特征在于，所述厚区域固定于所述研磨层上。

7.根据权利要求1所述的研磨部件，其特征在于，所述窗用粘合剂或固化的聚氨酯固定于所述研磨垫上。

8.根据权利要求1所述的研磨部件，其特征在于，所述窗是方框形。

9.根据权利要求1所述的研磨部件，其特征在于，所述窗是圆柱形。

10.根据权利要求1所述的研磨部件，其特征在于，所述凹槽是第一凹槽，以及所述窗包括在其底表面处的第二凹槽。

11.根据权利要求1所述的研磨部件，其特征在于，所述研磨层由聚氨酯形成的单层和填充物组成。

12.根据权利要求1所述的研磨部件，其特征在于，所述窗仅固定于研磨垫上。

13.根据权利要求1所述的研磨部件，其特征在于，所述窗口不直接与探头接触。

14.一种制造研磨部件的方法，包括：

在固体透明窗的底表面中形成凹槽以限定所该窗的凹槽和顶表面之间的较薄区域以及在所述顶表面和底表面之间围绕所述较薄区域的厚区域；以及

在研磨垫的研磨层中安置所述固体透明窗从而所述窗的顶表面基本与所述研磨层的研磨表面齐平以及所述厚区域固定于所述研磨垫上。

15.根据权利要求14所述的方法，其特征在于，形成所述凹槽的步骤包括机械制作该凹槽。

16.根据权利要求14所述的方法，其特征在于，形成所述凹槽的步骤包括用模铸形成窗。

17.根据权利要求14所述的方法，其特征在于，安置窗的步骤包括在所述研磨层中形成孔以及将所述窗固定于所述孔中。

18.根据权利要求17所述的方法，其特征在于，所述窗用粘合剂固定于所述孔中。

19.根据权利要求14所述的方法，其特征在于，所述研磨垫包括背层以及安置所述窗的步骤包括将所述窗固定于所述背层上。

20.根据权利要求14所述的方法，其特征在于，安置所述窗的步骤包括将所述窗固定于所述研磨层上。

21.根据权利要求14所述的方法，其特征在于，所述凹槽是第一凹槽，以及所述窗包括在其底表面处的第二凹槽。