[发明专利]抛光仓

权利要求书

1、一种抛光仓，包括：

辊，直径在2和2.5英寸之间；

具有线状透明部分的线状抛光片，其缠绕在辊上，不破坏透明其部分。

2、根据权利要求1所述的抛光仓，其特征在于，所述辊的长度为20英寸。

3、根据权利要求1所述的抛光仓，其特征在于，所述线状透明部分是由聚亚安酯材料构成。

4、根据权利要求1所述的抛光仓，其特征在于，所述材料在肖氏硬度D标尺上具有约60的硬度。

5、根据权利要求1所述的抛光仓，其特征在于，所述材料具有约50密耳的厚度。

6、根据权利要求1所述的抛光仓，其特征在于，所述抛光片包括所述线状抛光层，并且所述透明部分形成所述抛光层。

7、形成抛光物的一种方法，包括：

形成一种线状抛光层；

在所述线状抛光层中，由在约2.5英寸的半径范围内不会破裂的弹性材料形成线状透明部分。

8、根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述线状透明部分是由聚亚安酯材料构成。

9、根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述形成线状透明部分包括在抛光层形成所述透明带。

10、一种抛光系统，包括：

可旋转压盘；

压盘支撑的抛光片，所述抛光片具有支撑所述抛光层的透明承载层，所述透明承载层具有一个凸起，延伸进所述抛光层中的一个孔内；

驱动装置，以使所述抛光片在直线方向上渐进穿过压盘；

承载头，用于保持衬底靠着所述抛光片；

光学监控系统，包括光源，以产生光束穿过所述透明承载的凸起部分，射到所述衬底上；和监测器，以监测来自衬底的反射光束；

11、一种抛光方法，包括：

旋转抛光片，该抛光片具有透明承载层支撑抛光层；所述透明承载层具有一个凸起，延伸进所述抛光层中的一个孔内；

引入衬底与所述抛光片接触；

引导光束穿过所述衬底的凸起部分，射到所述衬底上，并监测来自衬底的反射光束；

使所述抛光片在直线方向上渐进穿过压盘；

12、一种抛光物，包括：

抛光层；

所述抛光片中的固体透光窗口，其具有多个平行的凸起，和抛光材料的多个凸起互相咬合。

13、根据权利要求12所述的抛光物，其特征在于，所述抛光层被拉伸一定的长度和宽度，所述长度大于宽度，所述凸起的延伸与所述长度垂直。

14、根据权利要求13所述的抛光物，其特征在于，所述窗口充分延伸至所述抛光片的整个长度。

15、一种抛光装置，包括：

抛光垫支座，其内形成凹槽；

驱动装置，以使具有抛光面的抛光片在直线方向上渐进穿过压盘；

真空源，其与所述凹槽相连接，并且配置为提供充足的真空，用于将部分所述抛光片拉入所述子垫的凹槽中，以在所述抛光表面形成凹槽。

16、根据权利要求15所述的抛光装置，其特征在于，抛光垫支座包括多个凹槽。

17、根据权利要求16所述的抛光装置，其特征在于，所述凹槽形成同心圆形、同心椭圆形、平行线或正交线。

18、根据权利要求15所述的抛光装置，其特征在于，所述凹槽形成螺旋形。

19、一种抛光方法，包括：

支持子垫上的抛光层；

为子垫上的螺旋形凹槽提供真空；

引入衬底与所述抛光片接触；并且，

在所述衬底与所述抛光层之间产生相对运动。