[发明专利]药液供给系统及药液供给控制装置

说明书

技术领域

本发明涉及使用通过泵室内的容积随容积可变部件的位移而变化经由排出口排出从吸入口吸入的药液的药液供给泵来进行药液供给的药液供给系统及该系统内的药液供给控制装置。

背景技术

例如，在半导体制造工序中，使用药液供给装置以将光致抗蚀剂等药液按预定量滴到半导体晶片上。具体地说，例如特开平10-54368号公报中所见那样提出了一种装置，包括对一对泵室进行分别划分的容积可变部件(波纹管)、使各波纹管伸缩的电动机、和设置在一对泵的各排出口及吸入口的逆止阀。由此，当波纹管收缩时，吸入口侧的逆止阀被机械地打开，药液吸入到泵室内。一方面，当波纹管伸长时，排出口侧的逆止阀被机械地打开，药液从泵室排出到外部。然后，通过使一对波纹管交替地伸长和收缩，以使药液连续排出。

发明内容

但是，上述药液供给装置当排出药液侧的泵室切换时有可能产生压力的变动。就是说，由于逆止阀根据上游和下游间的压力差进行开闭，因而在排出口侧的逆止阀打开时，药液的排出压力具有比逆止阀的下游侧的压力更高的倾向。因此，在一对泵室的排出口彼此的合流部将发生压力的变动，甚至有可能使药液的流量产生脉动。

而且，不只是上述装置，对于使用泵室内的容积随容积可变部件的位移而变化通过排出口排出从吸入口吸入的药液的药液供给泵的装置，药液排出或吸入时药液的状态发生变动的问题已成为共通的问题。

本发明是为解决上述问题而提出的，其目的在于提供药液供给系统及药液供给装置，使用泵室内的容积随容积可变部件的位移而变化通过排出口排出从吸入口吸入的药液的药液供给泵，可以在药液排出或吸入时适当地控制药液状态的变动。

第一方面记载的发明是一种药液供给系统，其特征在于，包括：药液供给泵，泵室内的容积随容积可变部件的位移而变化通过排出口排出从吸入口吸入的药液；开闭装置，对所述排出口及吸入口的至少一个进行电开闭；压力施加装置，通过所述容积可变部件向所述泵室内施加压力；检测装置，检测所述容积可变部件的位移量；以及反馈装置，在所述至少一个口打开前对通过所述压力施加装置向所述泵室内施加的压力进行操作，以在所述至少一个口打开时对所述检测装置检测的变动量进行反馈控制。

在上述构成中，在上述至少一个口打开时容积可变部件变动的情况下，开闭装置的上游侧及下游侧的压力产生差，考虑到随着打开在上游侧及下游侧之间产生了药液的急速流动。然后，可以通过操作开闭装置打开前的泵室内的压力来进行反馈控制该变动量。由此，在反馈控制得到反映时，可以将变动量控制在期望值，而且可以适当地抑制开闭装置打开时的药液状态的变动。

第二方面记载的发明，是在第一方面记载的发明中，上述反馈装置将上述变动量的目标值设为零。

考虑到如果开闭装置打开时容积可变部件的位置状态不变动，则药液处于稳定的状态。这点，在上述构成中，通过将变动量的目标值设为零，可以适当地抑制容积可变部件随开闭装置打开的变动，而且，可以适当地抑制或者避免药液状态的变动。

第三方面记载的发明，是在第一方面或第二方面记载的发明中，上述开闭装置对上述排出口进行电开闭，上述反馈装置当上述排出口打开时对由上述检测装置检测的变动量进行反馈控制。

在上述构成中，由于通过反馈控制可以限制排出口打开时容积可变部件的变动量，从而可以在稳定的状态下供给药液。

第四方面记载的发明，是在第三方面记载的发明中，包括多个上述药液供给泵，该多个药液供给泵的排出口连接到共同的药液供给口，而且使药液的吸入期间和排出期间在多个药液供给泵间重复，以通过上述药液供给口将药液连续向外部供给。

在上述构成中，通过使排出期间和吸入期间在多个药液供给泵间重复以连续向外部供给药液。此时，可以通过对各供给泵的排出口打开时容积可变部件的位置状态的变动量进行反馈控制来限制药液的变动。因此，可以在稳定的状态下连续供给药液。特别是，通过上述反馈控制来限制药液的变动，还可以使经由药液供给口供给的药液流量高精度和恒定。

此外，在将多个药液供给泵设为2个的情况下，优选地，从这些药液供给泵交替地排出药液。

第五方面记载的发明，是在第三方面或第四方面记载的发明中，包括限制装置，当通过上述容积可变部件的位移使上述泵室内的容积扩大来吸入药液时，对上述容积可变部件的位移量进行限制以使上述泵室内的容积为最大值以下。