[发明专利]探针

权利要求书

1.一种探针，其特征在于：至少具备弹簧朝垂直方向变形的z变形部、及与该z变形部直列连接的旋转动作、且至少弹簧朝垂直方向变形的zθ变形部。

2.一种探针，其特征在于：zθ变形部具有一个或数个旋转中心，且于接触焊垫以做检查时，在过度驱动中，该zθ变形部会以前述旋转中心为主以做旋转；探针前端会在焊垫表面与1点或受限范围内做接触，而在焊垫表面与探针前端上产生相对性的偏位，当开始接触后即去除污垢，且于接触后半可进行导电的曲面。

3.一种探针，其特征在于：旋转角θ为θ(1)、θ(2)、….θ(n)的总和，且具有因应各旋转的旋转中心0(1)、0(2)、….0(n)，在因应该旋转的z向位移z(1)、z(2)、….z(n)、及θ旋转位移变形的探针上，焊垫接点的轮廓曲线，是由因应各旋转角θ为θ(1)、θ(2)、….θ(n)的线分S(1)、S(2)、….S(n)的顶点P(0)、P(1)、….P(n)中的1个接触焊垫面，当包含接触顶点的线分S(1)、S(2)、….S(n)之一，与焊垫面略呈平行时，则以连续平滑曲线连接前述顶点P(0)、P(1)、….P(n)的凸起状曲线，则包含于探针前端形状的一部份。

4.根据权力要求2所述的探针，其特征在于：只由zθ变形部所构成。

5.根据权力要求1所述的探针，其特征在于：zθ变形部为单撑梁的悬臂梁。

6.根据权力要求4所述的探针，其特征在于：zθ变形部为单撑梁的悬臂梁。

7.根据权力要求1所述的探针，其特征在于：z变形部是以2个略呈平行的曲线或直线、或曲线与直线所构成的导电材所构成的梁、及该数个梁的两端未呈共通变形的支撑体所固定，固定一端支撑体后，当移动另一端支撑体时，会在一定范围内呈并行运动的二组平行弹簧、及将该二组平行弹簧2段式配置成垂直方向，且具备以导电材的构件结合前述二组平行弹簧支撑体的手段，前述一组平行弹簧支撑体，被连接于受检端焊垫的输入端上，另一组平行弹簧支撑体，则被连接于检查电路的输出端。

8.根据权力要求7所述的探针，其特征在于：构成平行弹簧的梁、或部分支撑体是由绝缘材所构成。

9.根据权力要求7所述的探针，其特征在于：探针输出端则连接，具该探针输出端间距的输入端，而在第1水平方向上，将间距比该输入端间距宽的间距，视为输出端的第1接线群；及具第1接线群输出端间距的输入端，则在与第1水平方向呈直交的第2水平方向上，将间距比该输入端间距宽的间距，视为输出端的第2接线群者。

10.根据权力要求7所述的探针，其特征在于：探针输出端部属于，当层迭数个探针时，各接线位置会朝概略等间距偏位，并由规则性的选择该输出端子部，尽可能在各树脂胶膜上形成出宽面排列。

11.根据权力要求9所述的探针，其特征在于：在树脂胶膜上形成出第1及第2接线群的各接线，并自树脂胶膜外围，突出该接线群的输入端及输出端。

12.根据权力要求9所述的探针，其特征在于：在直线上配置数个探针输出端，以连接第1接线群。

13.根据权力要求9所述的探针，其特征在于：在直线上配置数个第1接线群的输出端，以连接第2接线群。