[发明专利]研磨垫与其应用及其制造方法

权利要求书

1.一种研磨垫，其包含：

缓冲片，包含纤维；

研磨片，包含第一弹性体，所述研磨片包含研磨表面，所述研磨表面用于研磨衬底；以及

粘合剂，用于将所述缓冲片粘合到所述研磨片，所述粘合剂包含第二弹性体。

2.根据权利要求1所述的研磨垫，其中所述缓冲片包含不织布。

3.根据权利要求1所述的研磨垫，其中所述纤维选自由单纤维和复合纤维组成的群组。

4.根据权利要求1所述的研磨垫，其中所述纤维由选自由以下各物组成的群组的至少一种材料制成：聚酰胺、对苯二胺、聚酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚对苯二甲酸乙二酯、聚丙烯腈和其混合物。

5.根据权利要求1所述的研磨垫，其中所述第一弹性体包含发泡树脂。

6.根据权利要求1所述的研磨垫，其中所述第一弹性体包含选自由以下各物组成的群组的至少一者：聚氨酯、聚烯烃、聚碳酸酯、聚乙烯醇、尼龙、弹性橡胶、聚苯乙烯、聚芳烃分子、含氟聚合物、聚酰亚胺、交联聚氨酯、交联聚烯烃、聚醚、聚酯、聚丙烯酸酯、弹性聚乙烯、聚四氟乙烯、聚(对苯二甲酸亚乙酯)、聚芳烃酰胺、聚芳烃、聚甲基丙烯酸甲酯、其共聚物、其嵌段共聚物、其混合物和其掺合物。

7.根据权利要求6所述的研磨垫，其中所述第一弹性体包含聚氨酯。

8.根据权利要求1所述的研磨垫，其中所述研磨片包含纤维。

9.根据权利要求8所述的研磨垫，其中所述研磨片中的所述纤维包含不织布。

10.根据权利要求8所述的研磨垫，其中所述研磨片中的所述纤维选自由单纤维和复合纤维组成的群组。

11.根据权利要求8所述的研磨垫，其中所述研磨片中的所述纤维由选自由以下各物组成的群组的至少一种材料制成：聚酰胺、对苯二胺、聚酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚对苯二甲酸乙二酯、和聚丙烯腈，和其混合物。

12.根据权利要求8所述的研磨垫，其中所述研磨片包含多个嵌入在所述纤维和所述第一弹性体中的连续孔。

13.根据权利要求1所述的研磨垫，其中所述第二弹性体包含选自由以下各物组成的群组的至少一者：聚氨酯、聚氯乙烯、聚苯乙烯、聚乙烯、聚酰胺、聚醚、聚丙烯、乙二醇二乙酸酯/醋酸乙烯酯、其共聚物、其嵌段共聚物、其混合物和其掺合物。

14.根据权利要求12所述的研磨垫，其中所述第二弹性体包含聚氨酯。

15.根据权利要求1所述的研磨垫，其中所述粘合剂选自由以下各物组成的群组：一液型糊剂、二液型糊剂和湿凝固糊剂。

16.根据权利要求15所述的研磨垫，其中所述二液型糊剂包含所述第二弹性体和聚异氰酸酯。

17.一种研磨衬底的方法，其包含使用根据权利要求1所述的研磨垫来研磨所述衬底的表面。

18.一种用于制造根据权利要求1所述的研磨垫的方法，其包含以下步骤：

(a)提供缓冲片和研磨片；

(b)在所述缓冲片或所述研磨片的表面上施加所述第二弹性体；以及

(c)将所述缓冲片粘合到所述研磨片。

19.根据权利要求18所述的方法，其中步骤(b)包含将所述第二弹性体涂覆、喷射、印刷或刮擦在所述缓冲片或所述研磨片的表面上。

20.根据权利要求18所述的方法，其在步骤(c)之后进一步包含固化步骤。