[发明专利]一种光电位移传感器及位移测量方法无效
| 申请号： | 200710164067.9 | 申请日： | 2007-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN101135553A | 公开（公告）日： | 2008-03-05 |
| 发明（设计）人： | 吴茹菲;洪何清 | 申请（专利权）人： | 吴茹菲 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01D5/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100029*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光电 位移 传感器 测量方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种光电位移传感器，其特征在于，该位移传感器由激光器、光纤和位移刻度板组成。
2.根据权利要求1所述的光电位移传感器，其特征在于，激光器是根据半导体光探测器的材料而定的，激光器的辐射波长是半导体材料的光生电流响应度最大时的波长。
3.根据权利要求1所述的光电位移传感器，其特征在于，所述光纤用于对激光器进行聚光，防止激光器的辐射光发散。
4.根据权利要求1所述的光电位移传感器，其特征在于，当光纤聚光不能满足精度要求时，加遮光板，同时采用识别技术，对多个光探测器同时输出光电流的情况，计算光照面的中心位置。
5.根据权利要求1所述的光电位移传感器，其特征在于，所述位移刻度板由若干相同的半导体光探测器组成。
6.使用权利要求1所述光电传感器的位移测量方法：根据权利要求1所述的光电位移传感器，激光器的一端与被测件相连，另一端通过光纤向位移刻度板辐射激光，位移刻度板上的光探测器感应到激光，就会产生光电流，测量光电流的输出支路，即可判断光探测器的位置刻度，将运动始末的位置刻度相减，即得到运动位移。
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