[发明专利]用于无尘室的水洗设备及其水洗方法

权利要求书

1、一种用于无尘室的水洗设备，其特征在于，包括：

一空调箱，其具有一进气口、一出气口及一回收底座；

一冷却吸收单元，其设置于该空调箱内且对应于该进气口及回收底座，其中该冷却吸收单元具有数个互相间隔且并列地对应于该近气口的过滤板及分别对应于每一过滤板顶端的淋洗器，每一过滤板具有一本体及一设于该本体内的中空流道；

一洗涤液供给单元，其连接每一淋洗器及该回收底座，以提供一洗涤液；

一冷却剂供给单元，其连结于每一过滤板的中空流道，用以提供该等过滤板一预定温度的流体；以及

一挡水单元，其设置于该空调箱内且对应于该出气口及该回收底座。

2、如权利要求1所述的用于无尘室的水洗设备，其特征在于：进一步包括一设于该空调箱内的喷洗单元，其设置于该进气口及该冷却吸收单元之间。

3、如权利要求1所述的用于无尘室的水洗设备，其特征在于：每一过滤板的本体具有二相对的侧边，每一侧边设有至少一阻隔板，每一阻隔板分别与该本体的侧边形成一预定角度。

4、如权利要求1所述的用于无尘室的水洗设备，其特征在于：每一过滤板的本体具有二相对的侧边，每一侧边设有复数个阻隔板，每一阻隔板分别与该本体的侧边形成一预定角度。

5、如权利要求3或4所述的用于无尘室的水洗设备，其特征在于：每一过滤板的侧边有复数个开孔。

6、如权利要求1所述的用于无尘室的水洗设备，其特征在于：该洗涤液供给单元具有一洗涤液装置及一连结该洗涤液装置的泵浦，该泵浦分别连结于每一淋洗器及该回收底座。

7、一种用于无尘室的水洗方法，其特征在于，包括：

(a)、藉由一冷却及吸收手段，以冷却该空气且保持于一预定入点温度，并且增加空气流场的紊流度(turbulent flow)，以提高空气气体被吸收的比率；

(b)、藉由一挡水单元，以保持干燥空气；以及

(c)、藉由一回收再利用手段，以利用该冷却及吸收手段来重复洗涤空气。

8、如权利要求7所述的用于无尘室的水洗方法，其特征在于：该冷却及吸收手段是利用一冷却吸收单元来过滤空气，并且利用一冷却剂供给单元与该冷却吸收单元的配合，使空气保持于该预定入点温度；该回收再利用手段是利用一连结该冷却吸收单元的洗涤液供给单元，以提供一洗涤液于该冷却吸收单元，并且回收再利用该洗涤液。

9、如权利要求8所述的用于无尘室的水洗方法，其特征在于：该冷却吸收单元为复数个互相间隔且并行排列的过滤板及分别对应于该过滤板顶部的淋洗器，该冷却剂供给单元连结于该等过滤板，以提供一预定温度的流体于该等过滤板，而该洗涤液供给单元连结于该淋洗器。

10、如权利要求9所述的用于无尘室的水洗方法，其特征在于：每一过滤板具有一中空流道、复数个阻隔板以及复数个开孔，该冷却剂供给单元连结于该等中空流道，藉由该等中空流道，以提供一预定温度的流体至该等过滤板；藉由该阻隔板以增加空气流场的紊流度(turbulentflow)，以提高空气被该过滤板的液体所吸收的比率；藉由该等开孔以增加空气流场的紊流度(turbulent flow)。