[发明专利]工艺、设备以及器件

权利要求书

1.一种用于在衬底的目标区域上制作交叠图案的工艺，包括：

-提供交叠图案之间的重叠误差，所提供的重叠误差对应于根据所述工艺模型的至少一个工艺参数中的每一个工艺参数的建议值控制工艺；

-通过使模型与包括所提供的重叠误差以及用于至少一个工艺参数中的每一个工艺参数的建议值的数据相适应，确定对应于最小重叠误差的至少一个工艺参数中的每一个工艺参数的值；

-制作交叠图案，由此根据至少一个工艺参数中的每一个工艺参数的经过确定的值来控制所述工艺；

其特征在于：

根据至少一个工艺参数中的每一个工艺参数的第一个经过确定的值制作所述交叠图案中一个的第一部分，以及根据至少一个工艺参数中的每一个工艺参数的第二个经过确定的值制作所述交叠图案中的一个的第二部分，其中第一个值不同于第二个值。

2.如权利要求1中的工艺，其中交叠图案包括第一图案和第二图案，并且其中所述交叠图案中的所述一个为第一图案。

3.如权利要求2中的工艺，其中提供重叠误差的步骤包括基于有关制作交叠图案中的仅一个交叠图案的数据估计重叠误差。

4.如权利要求3中的工艺，其中所述仅一个交叠图案为第二图案。

5.如权利要求2中的工艺，其中提供重叠误差的步骤包括根据至少一个工艺参数中的每一个工艺参数的建议值，在经过处理的测试衬底上测量重叠误差。

6.如权利要求2至4中任一项的工艺，其中先于所述第一图案在衬底上制作所述第二图案。

7.如权利要求1至6中任一项的工艺，其中所述工艺为光刻工艺。

8.如权利要求7中的工艺，包括

-通过图案形成装置对辐射束进行图案化，以及

-通过由图案化的辐射束照射目标区域，制作所述交叠图案中的所述一个交叠图案的第一部分和第二部分。

9.如权利要求8中的工艺，包括

使用所述图案形成装置的特征的测量，估计所述重叠误差。

10.如权利要求8或9中的工艺，包括

-相对于投影系统扫描图案形成装置；

-在第一时刻及时地制作所述图案形成装置的第一段的第一图像，所述图像在狭缝中制作；

-在第二时刻及时地制作所述图案形成装置的第二段的第二图像，所述图像在狭缝中制作，并且由此所述第二时刻不同于所述第一时刻，并且由此所述图案形成装置的第一段不同于所述图案形成装置的第二段；

-相对于所述狭缝扫描目标区域，由此照射带有第一图像的目标区域的第一段，并照射带有第二图像的目标区域的第二段；

由此所述第一图像和第二图像分别地相对于图案形成装置的第一部分和第二部分以图像缩小系数缩小。

11.如权利要求10中的工艺，其中至少一个工艺参数中的每一个工艺参数包括图像缩小系数。

12.如权利要求10至11中任一项的工艺，其中至少一个工艺参数中的每一个工艺参数对应于投影系统的第三级像差。

13.如权利要求10至12中任一项的工艺，其中图案形成装置相对于投影系统被扫描，并且其中根据包括轨迹和速度的至少一个扫描参数将所述目标区域和狭缝彼此相对地扫描，并且其中至少一个工艺参数中的每个工艺参数中的至少一个参数对应于至少一个扫描参数中的一个参数。

14.如权利要求13中的工艺，其中至少一个扫描参数中的一个扫描参数对应于目标区域相对于狭缝的速度，或者对应于图案形成装置相对于投影系统的速度。

15.如权利要求13至14中任一项的工艺，其中图案形成装置相对于投影系统在第一方向上被扫描，而目标区域相对于狭缝在第二方向上被扫描；

其中至少一个扫描参数中的一个扫描参数对应于第二方向的分量，所述分量垂直于所述第一方向。

16.如权利要求13中的工艺，其中至少一个扫描参数中的一个扫描参数对应于图案形成装置相对于目标区域的旋转。