[发明专利]步进扫描投影光刻机同步控制器

权利要求书

1.一种步进扫描投影光刻机同步控制器，其特征在于：该同步控制器为步进扫描投影光刻机同步控制系统提供统一的时间基准，该步进扫描投影光刻机同步控制系统包括上位机、工控机CPU板、同步总线控制器、运动控制卡、激光计数卡以及对准控制系统、照明控制系统；

曝光控制软件模块位于所述的上位机；扫描控制软件模块位于所述的工控机CPU板；所述的工控机CPU板采用实时操作系统；所述的上位机与所述的工控机CPU板通过工业以太网互连；所述的工控机CPU板和所述的同步总线控制器、运动控制卡、激光计数卡之间采用VME总线连接在一起；所述的同步总线控制器、运动控制卡、激光计数卡之间采用同步总线进行数据交换；

2.根据权利要求1所述的步进扫描投影光刻机同步控制器，其特征在于：所述的运动控制卡和激光计数卡之间的数据交换以同步总线数据传输作为时间基准，所述的同步总线控制器通过同步总线的最小时间单元，控制数据传输的时间点。

3.根据权利要求1或2所述的步进扫描投影光刻机同步控制器，其特征在于：所述的同步总线控制器和所述的对准控制系统、照明控制系统之间采用485差分信号线进行连接。

4.根据权利要求1所述的步进扫描投影光刻机同步控制器，其特征在于所述的上位机采用工作站或工控PC机，应用Unix或Windows操作系统。

5.根据权利要求1所述的步进扫描投影光刻机同步控制器，其特征在于所述的工控机CPU板采用VxWorks或pSOS或RTLinux或WinCE实时操作系统。

6.根据权利要求1或2所述的步进扫描投影光刻机同步控制器，其特征在于所述的同步总线控制器、运动控制卡、激光计数卡使用的核心芯片是FPGA芯片或DSP芯片。

7.据权利要求1或2所述的步进扫描投影光刻机同步控制器，其特征在于所述的运动控制卡包括工件台运动控制卡和掩膜台运动控制卡。

8.据权利要求1或2所述的步进扫描投影光刻机同步控制器，其特征在于所述的激光计数卡包括工件台激光计数卡和掩膜台激光计数卡。

9.据权利要求1或2所述的步进扫描投影光刻机同步控制器，其特征在于所述的同步总线控制器、运动控制卡、激光计数卡之间采用同步总线SDB进行数据交换。