[发明专利]用于附着基板的设备和方法

说明书

技术领域

本公开涉及一种用于附着基板的设备和方法，更具体地，涉及一种能够独立于通常保持基板的腔室来升降该基板的支撑和升降机构。

背景技术

近来，随着信息社会的发展，对于显示装置的需求已经多样化。因此，开发了各种类型的显示装置，诸如液晶显示器(LCD)、等离子显示面板(PDP)等。这些显示装置的使用者要求视频质量高、重量轻以及尺寸大。因此，最近开发出具有大于50英寸尺寸的超大尺寸LCD。

LCD是利用液晶折射率的各向异性在其屏幕上显示信息的显示装置。LCD通过在两个基板之间加入液晶并将这两个基板附着在一起制造而成。两个基板中的一个是驱动器件阵列基板，而另一个是滤色片(CF)基板。驱动器件阵列基板上形成有多个像素，并且每个像素均形成有诸如薄膜晶体管(TFT)的驱动器件。用于实现色彩的滤色片层与像素电极、共用电极和用于对准液晶分子的对准膜(配向膜，alignment film)一起形成于滤色片基板上。

在制造LCD显示装置的过程中，以精确的方式将两个基板附着在一起是非常重要的。随着显示装置的变大，用于附着基板的设备也变大。基板附着设备将上基板和下基板保持在能够维持真空状态的腔室中。两个基板分别被保持在上腔室和下腔室上。基板通常由输送机器人带入到腔室的内部中。基板被设置在上腔室和下腔室上的基板接收销接收和保持。于是，基板就位于上腔室和下腔室上。

上基板和下基板中的每一个都设置有多个基板接收销，并且这些销在基板的整个区域上均匀地隔开，以便在基板处于水平方向时稳定地保持基板。上腔室和下腔室上的基板接收销与驱动装置一起设置，从而它们能够通过穿过上腔室和下腔室的通孔而被升高和降低。为了使腔室内部维持真空状态，在通孔和销的周围设置密封件，诸如波纹管(bellows)。该波纹管维持真空，但允许销相对于上腔室和下腔室移动。波纹管相对较昂贵，并且需要定期更换以确保它们在销周围持续保持良好的密封。

当基板具有增大的尺寸时，所需的用来保持基板的基板接收销的数量也增加。因此，所需的昂贵密封件波纹管的数量增加，而且用于移动销的驱动装置的负荷增加。此外，当销的数量增加时，同时驱动所有的所述多个基板接收销以便使它们精确地维持在同一高度就变得更加困难。

发明内容

为了克服上述的和其它的与现有技术有关的问题而提出了本发明。本发明的特征在于提供一种用于附着基板的设备和方法，所述设备设置有基板接收部件，该基板接收部件能够将下基板与下腔室分离，并且能够根据下腔室的升高和降低而支撑下基板，而无需单独的驱动装置。

为了实现本发明的特征，提供一种用于附着基板的设备，该设备包括：主框架；上腔室，安装在主框架的上部上，其中上腔室可接收并保持上基板；下腔室，可移动地安装在主框架上，其中下腔室可接收并保持下基板，并且其中下腔室可与上腔室被放在一起以在下腔室与上腔室之间形成密封的附着空间；以及下基板接收部件，安装在主框架上，其中下基板接收部件包括基板支撑部和多个竖直支架，并且其中下基板接收部件可在下腔室升高和降低时保持固定。

另外，提供一种附着基板的方法，该方法包括：将上基板移动到附着设备内，并将上基板附着于上腔室；将下基板移动到附着设备内，并将下基板放置到下基板接收部件上，下基板接收部件位于上腔室与下腔室之间；升高下腔室，从而下腔室升高下基板使之离开下基板接收部件并与上腔室放在一起，以在下腔室与上腔室之间形成密封的附着空间；以及将上基板附着于下基板。

附图说明

参照下面的附图对实施例进行详细描述，在附图中相同的参考标号表示相同的部件，附图中：

图1是示出了用于附着基板的设备的结构的截面图；

图2是示出了用于附着基板的方法的流程图；以及

图3-6示出了使用图1所示的设备来附着基板的方法的步骤。

具体实施方式

图1是示出了用于附着基板的设备的结构的截面图。参照图1，该设备包括形成设备外形的外部框架100。上腔室200和下腔室300能够合在一起，以形成密封的基板附着空间。升降部件400为升高和降低下腔室提供驱动力。真空部件500在密封的附着空间内形成真空，并且还为接收销提供真空。基板接收部件600接收基板。对准部件700用来在基板彼此附着之前对准基板。

外部框架100设置有用于插入和移出基板的门110。优选地，该门110仅在插入和移出基板时打开，从而诸如灰尘的外部杂质不会进入基板附着设备的内部。