[发明专利]接触和非接触式两用表面粗糙度测量系统

权利要求书

1.一种接触和非接触式两用表面粗糙度测量系统，包括测量传感器和计算机，其特征在于所述计算机通过测量及数据采集电路连接设置有两组测量传感器，该两组测量传感器分别为非接触式测量头和接触式测量头。

2.根据权利要求1所述的接触和非接触式两用表面粗糙度测量系统，其特征在于所述非接触式测量头为光针式非接触测量头，所述接触式测量头为金刚石触针式测量头。

3.根据权利要求1所述的接触和非接触式两用表面粗糙度测量系统，其特征在于所述非接触式测量头和接触式测量头的电感信号线接入一共用的测量及数据采集电路、工作台扫描系统和计算机参数评定模块。

4.根据权利要求1所述的接触和非接触式两用表面粗糙度测量系统，其特征在于所述测量系统包括水平设置的一维工作台，一维工作台固定设置在一底座上，底座的另一侧设置一立柱，立柱上分别套装有非接触式测量头和接触式测量头。

5.根据权利要求4所述的接触和非接触式两用表面粗糙度测量系统，其特征在于所述一维工作台上设置有待测物体固定装置，一维工作台由步进电机驱动做一维的运动，步进电机通过驱动电路连接计算机，并有计算机控制运动方式。

6.根据权利要求4所述的接触和非接触式两用表面粗糙度测量系统，其特征在于所述一维工作台的上方分别设置非接触式测量头和接触式测量头，接触式测量头贴近一维工作台设置，套装在立柱的下端，非接触式测量头套装在立柱的上端并设置在接触式测量头的上方。

7.根据权利要求1所述的接触和非接触式两用表面粗糙度测量系统，用于弹头或工具的痕迹测量，其特征在于所述测量系统包括一水平设置的工作台，工作台的一侧设置立柱，立柱上活动套装接触式测量头和非接触式测量头，所述非接触的测量头为测量显微镜，接触式测量头为相位光栅干涉式PGI接触传感器；工作台上设置固定弹头或工具的旋转及装夹装置。

8.根据权利要求7所述的接触和非接触式两用表面粗糙度测量系统，其特征在于所述工作台为二维移动的X/Y向工作台，X/Y向工作台采用交流伺服电机驱动，计算机通过一驱动电路连接驱动X/Y向工作台的交流伺服电机。

9.根据权利要求7所述的接触和非接触式两用表面粗糙度测量系统，其特征在于所述旋转及装夹装置连接一交流伺服电机并由其驱动，交流伺服电机通过另一驱动电路连接计算机。

10.根据权利要求7所述的接触和非接触式两用表面粗糙度测量系统，其特征在于所述测量系统还包括一底座，所述底座的一端固定设置X/Y向工作台底座的另一端固定设置立柱，相位光栅干涉式PGI接触传感器套装在测量显微镜的下方。