[发明专利]阵列测试器

说明书

相关申请交叉参考

本申请要求于2006年10月26日提交第10-2006-0104640号的韩国专利申请的优先权，其全部内容结合于此作为参考。

技术领域

本发明涉及一种用于平板显示器的阵列测试器，更具体地说，涉及这样一种用于平板显示器的阵列测试器，其利用用于电光装置的调制器来确定面板电极中是否存在任何缺陷。

背景技术

为电光装置的平板显示器(FDP)通常在上基板与下基板之间包括电极。例如，薄膜晶体管液晶显示器(TFT LCD)基板包括：TFT面板，在其下基板上形成有薄膜晶体管(TFT)；滤光片面板(filter panel)，其面向TFT面板，并且其上形成有滤色片和共用电极；液晶，其注入于TFT面板与滤色片面板之间；以及背光单元。

在TFT LCD基板中，通过阵列测试器来确定在TFT中是否存在任何缺陷。具体地说，阵列测试器通过以下方法来确定在TFT中是否存在任何缺陷，所述方法为：将安装于阵列测试器中的调制器朝向构成电光装置的TFT面板靠近，同时向调制器和TFT面板施加预定电压从而在调制器与TFT面板之间产生电场，并且测量电场强度。由于当在形成于TFT面板中的任何电极中存在缺陷时电场强度会减小，所以阵列测试器可确定TFT中是否存在缺陷。

图1示出了传统阵列测试器10。参照图1，阵列测试器10包括加载单元11、测试单元12、卸载单元13、保持卡盘(holding chuck)15、和测试模块40。保持卡盘15保持待被阵列测试的面板2，且被放置于加载单元11上，并且将面板2朝向测试单元12移动。然后，测试模块40在面板2进行阵列测试。在保持卡盘15移动面板2的同时，测试模块40在面板2的整个表面上进行阵列测试。在阵列测试之后，面板2被传送到卸载单元13并被卸载。

测试模块40包括光源41、调制器43、和照相机44。调制器43包括反射层43a、电光材料层43b、和透明基板层43c。由于测试模块40与第6,151,153号美国专利所公开的结构相同或相似，所以省略对它的详细描述。

但是，如图1所示，由于光源41和照相机44位于面板2的一个表面上方，所以从光源41发射的光线经由镜子入射到调制器43上，并由调制器43的反射层43a反射，然后沿与入射方向相反的方向从调制器43中射出。从光源41到调制器43的光路与从调制器43到照相机44的光路部分地交迭。因此，需要防止在光源41与照相机44之间出现干涉。为了避免光源41与照相机44之间的干涉，阵列测试器10包括诸如镜子的光线方向调整单元42。

而且，由于经过调制器43的电光材料层43b的光线被反射并经过电光材料层43b返回，所以光损失增加。因此，为了补偿该光损失，所以必须增加从光源41发射的光线的强度。

反射层43a用来反射经过调制器43的电光材料层43b的光线。反射层43a设置成接触面板2的电极5，以便减小反射层43a与面板2的电极5之间的驱动电压。但是，面板2的电极5与调制器43的电极之间的驱动电压却由于反射层43a的厚度而无谓地增加。由于反射层43a由诸如反射膜的脆性材料制成，所以当反射层43a接触面板2的电极5时可能会被损坏。

为了解决上述问题，光源41设置于面板2的后表面下方，并且调制器43和照相机44设置于面板2的前表面上方，同时调制器43不包括反射层43a。

在这种情况下，被包含在测试单元12中的面板固定板(panelsettling plate)由透明玻璃制成。但是，由于面板固定板和面板2具有相同的分子，所以在面板固定板与面板2之间产生静电。如果在面板固定板与面板2之间产生有静电，则面板2的电极5可能会被损坏，或者阵列测试器10可能会被电损坏。

发明内容

本发明提供一种阵列测试器，该阵列测试器不需要反射层和诸如镜子或分束器的光线方向调整单元，并且通过使从光源发射出的光线的损失最小化而不需要增加从光源发出的光线的强度。

本发明还提供一种阵列测试器，其中在待测试的面板上不产生静电。