[发明专利]图像传感器及其制造方法

权利要求书

1.一种图像传感器，包括：

滤色镜层，其包括具有第一厚度的红色滤色镜、具有第二厚度的绿色滤色镜和具有第三厚度的蓝色滤色镜；以及

微透镜阵列，其具有形成在所述红色滤色镜上的具有第四厚度的第一微透镜、形成在所述绿色滤色镜上的具有第五厚度的第二微透镜和形成在所述蓝色滤色镜上的具有第六厚度的第三微透镜。

2.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，所述第四厚度、第五厚度和第六厚度是彼此不同的。

3.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，所述第一厚度与所述第四厚度的和、所述第二厚度与所述第五厚度的和以及所述第三厚度与所述第六厚度的和是相等的。

4.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，所述第二厚度比所述第一厚度厚，所述第三厚度比所述第二厚度厚。

5.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，所述第五厚度比所述第四厚度薄，所述第六厚度比所述第五厚度薄。

6.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，所述微透镜阵列与所述滤色镜层直接接触。

7.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，通过所述第一微透镜聚集光的距离、通过所述第二微透镜聚集光的距离和通过所述第三微透镜聚集光的距离是相等的。

8.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，根据所述滤色镜层的红色、绿色和蓝色滤色镜的厚度选择来确定在各个滤色镜上形成的各个微透镜的厚度，根据所确定的各个微透镜的厚度来确定聚集光的距离。

9.一种制造图像传感器的方法，包括：

形成滤色镜层，所述滤色镜层包括具有第一厚度的红色滤色镜、具有第二厚度的绿色滤色镜和具有第三厚度的蓝色滤色镜；

在所述滤色镜层上形成用于形成微透镜的光刻胶；

图案化所述用于形成微透镜的光刻胶；以及

执行热处理以便形成微透镜阵列，所述微透镜阵列具有形成在所述红色滤色镜上的具有第四厚度的第一微透镜、形成在所述绿色滤色镜上的具有第五厚度的第二微透镜和形成在所述蓝色滤色镜上的具有第六厚度的第三微透镜。

10.根据权利要求9所述的制造图像传感器的方法，其中，所述第四厚度、第五厚度和第六厚度是彼此不同的。

11.根据权利要求9所述的制造图像传感器的方法，其中，所述第一厚度与所述第四厚度的和、所述第二厚度与所述第五厚度的和以及所述第三厚度与所述第六厚度的和是相等的。

12.根据权利要求9所述的制造图像传感器的方法，其中，将所述第二厚度形成为比所述第一厚度厚，将所述第三厚度形成为比所述第二厚度厚。

13.根据权利要求9所述的制造图像传感器的方法，其中，将所述第五厚度形成为比所述第四厚度薄，将所述第六厚度形成为比所述第五厚度薄。

14.根据权利要求9所述的制造图像传感器的方法，其中，以与所述滤色镜层直接接触的方式形成所述微透镜阵列。

15.根据权利要求9所述的制造图像传感器的方法，其中，将通过所述第一微透镜聚集光的距离、通过所述第二微透镜聚集光的距离和通过所述第三微透镜聚集光的距离形成为是相同的。

16.根据权利要求9所述的制造图像传感器的方法，其中，根据所述滤色镜层的红色、绿色和蓝色滤色镜的厚度选择来确定形成在各个滤色镜上的各个微透镜的厚度，根据所确定的各个微透镜的厚度来确定聚集光的距离。

17.根据权利要求9所述的制造图像传感器的方法，其中，在所述滤色镜层上形成用于形成微透镜的光刻胶包括在所述滤色镜层上涂覆光刻胶，使得所述光刻胶的上表面平坦。

18.根据权利要求9所述的制造图像传感器的方法，其中，形成所述滤色镜层包括顺序形成所述红色滤色镜、所述绿色滤色镜和所述蓝色滤色镜。