[发明专利]连接电气信号用坐标变换装置

权利要求书

1.一种连接电气信号用坐标变换装置，其特征在于：使用黏接金属箔的树脂胶膜，并蚀刻加工前述金属箔后，在树脂胶膜上形成包含探针功能且构成导电体的导电图案；

层迭数片前述附探针功能的树脂胶膜，让前述探针前端部，完全接触半导体芯片的电极焊垫，以进行半导体芯片回路检查的测头组装；

使用黏接金属箔的树脂胶膜，蚀刻加工前述金属箔，并于树脂胶膜上形成导电图案，而自树脂胶膜外周，突出前期导电图案的输入端及输出端，将前述探针输出端间距，视为输入端间距后，在第1水平方向(y向)，将间距比自该输入端间距稀疏的间距，视为输出端后，即属第1布线群；

将第1布线群输出端间距，视为输入端间距后，在第1水平方向上呈直交的第2水平方向(x向)上；及

将间距比该输入端间距稀疏的间距，视为输出端，而属第2布线群的连接电气信号用坐标变换装置上，因应前述探针输出端之一的前述第1布线群输入端，是由可在y z平面内独立活动的至少2个端子所构成，接触导通前述探针的输出端、与前述第1布线群输入端时，前述第1布线群输入端的第1端子壁面，会接触前述探针输出端的一侧，且第2端子壁面，会接触前述探针输出端的相反侧。

2.如权利要求1的连接电气信号用坐标变换装置，其特征在于：将连结于第1布线群导电图案的输入端，视为第1端子，并使用黏接金属箔的树脂胶膜，蚀刻加工前述金属箔，且于树脂胶膜上形成前述第2端子，再将该树脂胶膜，黏接于构成前述第1布线群的树脂胶膜两面上。

3.如权利要求1的连接电气信号用坐标变换装置，其特征在于：让接触前述探针输出端侧面的第1端子壁面、和第2端子壁面之间的对向距离，是以小于事先接触构成探针输出端导体图案厚度的方式所设置而成。

4.如权利要求1的连接电气信号用坐标变换装置，其特征在于：因应第1布线群输出端之一的第2布线群输入端，是由可在x z平面内，独立活动的至少2个端子所构成；接触导通前述第1布线群输出端、与前述第2布线群输入端时，前述第2布线群输入端的第1端子壁面，会接触前述第1布线群输出端的一侧，且前述第2布线群输入端的第2端子壁面，会接触前述第1布线群输出端的相反侧。

5.如权利要求1的连接电气信号用坐标变换装置，其特征在于：将连结于第2布线群导电图案的输入端，视为第1端子，并使用黏接金属箔的树脂胶膜，蚀刻加工前述前述金属箔，且于树脂胶膜上形成前述第2端子，再将该树脂胶膜，黏接于构成前述第2布线群的树脂胶膜两面上。

6.如权利要求4的连接电气信号用坐标变换装置，其特征在于：让接触第1布线群输出端侧面的第2布线群输入端的第1端子壁面、和第2端子壁面之间的对向距离，是以小于事先接触构成第1布线群输出端图案厚度的方式所设置而成。