[发明专利]液体特性传感器

权利要求书

1.一种用于检测液体特性的液体特性传感器(10)，该液体特性传感器包括：

半导体板(1)，其包括

设置在该半导体板的表面上的绝缘膜(2)，以及

具有电容-电压转换电路的信号处理电路(6)；

第一电极(4a)和第二电极(4b)，所述电极设置在该半导体板的该表面上以便彼此间隔预定距离；以及

保护膜(3)，其设置在该半导体板上以覆盖该半导体板的其上设置了所述第一和第二电极的所述表面，所述保护膜对于该液体具有抵抗性，并且所述保护膜被暴露于所述液体，其中

所述第一和第二电极(4a、4b)根据所述液体的相对介电常数来检测其间的电容作为所述液体的特性，并且

所述电容-电压转换电路(6)将所述第一和第二电极之间的电容转换成电压值。

2.根据权利要求1所述的液体特性传感器(10)，其中

所述保护膜(3)具有相对介电常数，其处在所述液体的相对介电常数的变化范围内。

3.根据权利要求1或2所述的液体特性传感器(10)，其中

所述保护膜(3)构造有具有在所述液体的相对介电常数的变化范围中的不同相对介电常数的多个膜(3a、3b)，并且

所述第一和第二电极(4a、4b)被相应地设置到所述多个膜中的每一个。

4.根据权利要求1所述的液体特性传感器(10)，其中

所述液体是第一液体和第二液体构成的混合液体，

所述液体具有相对介电常数，其随着所述第一液体和所述第二液体之间的混合比而改变，

所述保护膜(3)包括第一膜(3a)和第二膜(3b)，该第一膜(3a)具有大致等于所述第一液体的相对介电常数的相对介电常数，该第二膜(3b)具有大致等于所述第二液体的相对介电常数的相对介电常数，并且

所述第一和第二电极(4a、4b)被相应地设置到所述第一膜和所述第二膜中的每一个。

5.根据权利要求1或2所述的液体特性传感器(10)，其中

所述保护膜(3)由氧化硅膜和氮化硅膜中的一种制成。

6.根据权利要求1或2所述的液体特性传感器(10)，其中

所述保护膜(3)具有等于或小于10μm的厚度。

7.根据权利要求1或2所述的液体特性传感器(10)，其中

所述第一电极(4a)和所述第二电极(4b)中的每一个都构造有公共电极以及在预定的单个方向上从所述公共电极延伸的多个梳齿电极，并且

所述第一和第二电极(4a、4b)被设置成使得所述第一电极的所述梳齿电极和所述第二电极的所述梳齿电极交替设置。

8.根据权利要求1或2所述的液体特性传感器(10)，其中

所述半导体板(1)被设置成使得所述液体沿着所述半导体板的所述表面流动。

9.根据权利要求1或2所述的液体特性传感器(10)，其中

所述液体是混合了乙醇的汽车燃料，

所述混合了乙醇的汽车燃料具有相对介电常数，其根据乙醇和汽车燃料之间的混合比而改变，并且

所述第一和第二电极(4a、4b)之间的电容对应于所述混合了乙醇的汽车燃料的组成比。

10.根据权利要求1或2所述的液体特性传感器(10)，其中

所述液体是发动机油，

所述发动机油具有相对介电常数，其根据所述发动机油的退化程度而改变，并且

所述第一和第二电极(4a、4b)之间的电容对应于所述发动机油的退化程度。