[发明专利]液体喷头的对准装置及其对准方法

权利要求书

1.一种液体喷头的对准装置，是在将喷嘴平板与固定构件定位接合之时所用的液体喷头的对准装置，该喷嘴平板设有液体喷头的喷射液体的喷嘴开口，并且在长边方向的两个端部分别设有对位用的第一及第二对准标记，该固定构件保持多个上述液体喷头的上述喷嘴平板侧，所述液体喷头的对准装置的特征是，具有：

作为透明构件的掩模，其设有上述第一及第二对准标记所分别对位的第一及第二基准标记；

卡盘，其与上述液体喷头的上述长边方向的两个端面分别抵接而支承上述液体喷头；

对准机构，其可以在与上述喷嘴平板平行的平面内借助上述卡盘将上述液体喷头直线移动，并且可以绕着与上述平面正交的轴借助上述卡盘将上述液体喷头转动。

2.根据权利要求1所述的液体喷头的对准装置，其特征是，上述对准机构具备：用于借助上述卡盘将上述液体喷头在作为上述平面内的一个方向的X方向上移动的X载台；用于借助上述卡盘将上述液体喷头在作为与上述X方向正交的方向的Y方向上移动的Y载台；及将上述X载台和Y载台一体化地绕着上述轴转动的θ载台。

3.根据权利要求1或2所述的液体喷头的对准装置，其特征是，上述卡盘以至少3个点来支承上述液体喷头。

4.根据权利要求1或2所述的液体喷头的对准装置，其特征是，上述掩模具有沿着上述光轴朝向对准标记突出的凸部，在该凸部的上面设置了上述第一及第二基准标记。

5.根据权利要求1或2所述的液体喷头的对准装置，其特征是，具有：

间隔物夹具，其在上述固定构件与上述掩模之间，被将一方的面与上述固定构件接触并且将另一方的面与上述掩模接触地配设，使得上述第一及第二基准标记与上述第一及第二对准标记夹隔空间而相互面对；

双焦点显微镜，其光轴从上述掩模的与上述间隔物夹具侧相反一侧穿过上述第一及第二基准标记及上述空间而朝向上述第一及第二对准标记的方向，共有上述光轴的一个光学系统可以使焦点与上述第一及第二对准标记吻合，并且另一个光学系统可以使焦点与上述第一及第二基准标记吻合。

6.根据权利要求5所述的液体喷头的对准装置，其特征是，上述双焦点显微镜由如下的多台双焦点显微镜构成，即，使各自的上述光轴间的距离与相邻的喷嘴平板的对准标记间的距离匹配，从而可以同时地观察到形成于多个液体喷头的各喷嘴平板上的各对准标记。

7.根据权利要求5所述的液体喷头的对准装置，其特征是，将上述双焦点显微镜的光轴固定，另一方面，将上述掩模与支承上述液体喷头的间隔物夹具一体化地移动，使得成为对准的对象的第一及第二基准标记与第一及第二对准标记就位于上述光轴上或其附近。

8.一种液体喷头的对准方法，是在将喷嘴平板与固定构件定位接合之时所用的液体喷头的对准方法，该喷嘴平板设有液体喷头的喷射液体的喷嘴开口并且在长边方向的两个端部分别设有对位用的第一及第二对准标记，该固定构件保持多个上述液体喷头的上述喷嘴平板侧，该方法的特征是，

将与上述喷嘴平板平行的平面内的上述液体喷头的直线移动及绕着与上述平面正交的轴的上述液体喷头的转动组合，调整为使得上述第一对准标记与该第一对准标记所要对位的第一基准标记对齐，并且使得上述第二对准标记与该第二对准标记所要对位的第二基准标记对齐。

9.根据权利要求8所述的液体喷头的对准方法，其特征是，包括：

利用上述直线移动来移动上述液体喷头，使上述第一对准标记与上述第一基准标记对齐的工序；

绕着穿过上述第一基准标记的中心而与上述平面正交的轴转动上述液体喷头，使上述第二对准标记与上述第二基准标记对齐的工序。