[发明专利]可调整倾角的形貌检测装置

权利要求书

1.一种可调整倾角的形貌检测装置，其包括：

一支架；

一形貌检测单元，用以取得待测物表面影像；

一第一倾角调整装置，其与该支架相连接，该第一倾角调整装置的一端与该形貌检测单元相枢接；以及

一第二倾角调整装置，其与该支架相连接且设置于该第一倾角调整装置的一侧，该第二倾角调整装置的一端与该形貌检测单元相滑接，该第二倾角调整装置与该第一倾角调整装置产生相对运动以调整该形貌检测单元的倾斜角度。

2.如权利要求1所述的可调整倾角的形貌检测装置，其中，该形貌检测单元为光学显微镜或探针扫描显微镜。

3.如权利要求1所述的可调整倾角的形貌检测装置，其中，该第一倾角调整装置包括有：

一平移件，其一端枢接于该形貌检测单元上；以及一固定座，与该支架相连接，该固定座内部设置有一横向轨道，以提供该平移件于横向轨道做水平移动。

4.如权利要求3所述的可调整倾角的形貌检测装置，其中，该横向轨道可整合为线性滑轨或线性马达，以精确控制该平移件位移尺寸。

5.如权利要求1所述的可调整倾角的形貌检测装置，其中，该第二倾角调整装置包括有：

一滑槽，其连接于该形貌检测单元上；

一平移件，其以一端与该滑槽相滑接；以及

一固定座，与该支架相连接，该固定座内部设置有一横向轨道，以提供该平移件于横向轨道做水平移动。

6.如权利要求5所述的可调整倾角的形貌检测装置，其中，该横向轨道可整合为线性滑轨或线性马达，以精确控制该平移件位移尺寸。

7.如权利要求1所述的可调整倾角的形貌检测装置，其中，该支架具有一转折结构且可进行一旋转运动以使该形貌检测单元对待测物进行360度检测。

8.如权利要求1所述的可调整倾角的形貌检测装置，其中，该待测物为一具有微结构的待测物。

9.如权利要求8所述的可调整倾角的形貌检测装置，其中，该具有微结构的待测物，为应用于液晶显示器增亮膜的微结构或制造增亮膜的滚筒模仁。

10.一种可调整倾角的形貌检测装置，其包括：

一支架；

一形貌检测单元，用以取得待测物表面影像；以及

一倾角调整装置，其与该支架相连接，该倾角调整装置带动该形貌检测单元进行一弧线运动以调整该形貌检测单元的倾斜角度。

11.如权利要求10所述的可调整倾角的形貌检测装置，其中，该形貌检测单元为光学显微镜或探针扫描显微镜。

12.如权利要求10所述的可调整倾角的形貌检测装置，其中，该倾角调整装置包括有：

至少一圆弧轨道，固定在旋转支架的侧边，得以调整形貌检测单元的倾斜角度，并用以维持形貌检测单元倾斜时，物镜焦距保持在同一位置；以及

至少一滑块，固定在形貌检测单元的侧边，用以带动形貌检测单元在圆弧轨道滑行。

13.如权利要求12所述的可调整倾角的形貌检测装置，其中，该滑块为圆柱型滑块。

14.如权利要求12所述的可调整倾角的形貌检测装置，其中，该滑块为具有弧度的板型滑块。

15.如权利要求10所述的可调整倾角的形貌检测装置，其中，该待测物为一具有微结构的待测物。

16.如权利要求15所述的可调整倾角的形貌检测装置，其中，该具有微结构的待测物为应用于液晶显示器增亮膜的微结构或制造增亮膜的滚筒模仁。

17.如权利要求10所述的可调整倾角的形貌检测装置，其中，该支架具有一转折结构且进行一旋转运动以使该形貌检测单元对待测物进行360度检测。