[发明专利]激光加工装置、激光加工头及激光加工方法

权利要求书

1.一种激光加工装置，包括：

辐射激光束的激光束源；以及

激光加工头，所述激光加工头包括：

透射窗口，激光束通过所述透射窗口照射材料；

在所述激光头的底部中形成的窗孔部，激光束经由所述透射窗口通过所述窗孔部；

将气体导入到所述激光加工头中的导入孔；

将所述激光加工头内的环境气体排出到外部的排气孔；

将气体导入到材料的激光照射区域周围的第一空气孔；

面对所述第一空气孔并用于排出材料的激光照射区域的环境气体的第二空气孔；以及

遮蔽部，所述遮蔽部具有位于所述透射窗口与所述窗孔部之间的开口以及与所述导入孔和排气孔连通的通风部，

其中，当采用激光束对材料中形成的多层膜上的树脂膜或薄金属膜构图时，材料的激光照射区域附近产生的碎屑经由与在所述激光加工头的底部上形成的窗孔部连通的第二空气孔而排出，并附着到所述遮蔽部的周围。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中：

设置在所述遮蔽部中的开口的直径近似等于通过所述开口的激光束的直径。

3.根据权利要求2所述的激光加工装置，其中：

从材料的激光照射区域产生的碎屑经由所述遮蔽部的开口导入，并且在经由所述第二空气孔排出气体时经由所述通风部从所述排气孔排出。

4.根据权利要求2所述的激光加工装置，其中进一步包括：

在堆叠在所述多层膜上的所述薄金属膜的下层上形成的树脂膜。

5.根据权利要求2所述的激光加工装置，其中：

设置在所述遮蔽部中的通风部以大致直线方式与所述导入孔和排气孔连通。

6.根据权利要求2所述的激光加工装置，其中：

通过调整所述激光加工头的窗孔部的直径以及材料的多层膜表面与所述激光加工头的底部之间的距离，控制积累在材料上的碎屑的量。

7.根据权利要求2所述的激光加工装置，其中：

材料被第一激光束照射，然后用于安装所述材料的工作台在与从所述第一空气孔到所述第二空气孔流动的空气流相反的方向上位移预设的距离，被所述第一激光束照射的材料的第一照射区域的一部分随后被第二激光束照射两次。

8.根据权利要求2所述的激光加工装置，其中进一步包括：

在所述第一空气孔中，将气体从材料的激光照射区域周围排出的功能件，和将气体导入材料的激光照射区域周围的功能件，以及

在所述第二空气孔中，将气体导入材料的激光照射区域周围的功能件，和将气体从材料的激光照射区域周围排出的功能件，其中

根据材料的构图方向切换在所述第一空气孔和第二空气孔之间导入和排出气体的方向。

9.根据权利要求2所述的激光加工装置，其中进一步包括：

位于激光加工头中彼此面对并且相对于所述第一空气孔和第二空气孔在径向方向上成90度的第三空气孔和第四空气孔，使得气体经由所述第三空气孔和第四空气孔导入到材料的激光照射区域周围或从其排出，其中

选择或切换所述第一和第二空气孔这对空气孔与所述第三和第四空气孔这对空气孔中的一对。

10.根据权利要求2所述的激光加工装置，其中进一步包括：

转动机构，所述转动机构具有所述第一和第二空气孔以及与所述激光加工头部分中的激光束光路大致平行的可转动轴，其中

使所述转动机构在材料的构图方向上转动并切换在所述第一空气孔与第二空气孔之间导入和排出气体的方向。