[发明专利]热喷涂粉末、形成热喷涂涂层的方法以及抗等离子体构件

权利要求书

1.一种热喷涂粉末，包括原子量从60到70的任意稀土元素的氧化物组成的粒化烧结颗粒，

其特征在于，组成所述粒化烧结颗粒的原始颗粒的平均颗粒尺寸是2到10μm，以及

所述粒化烧结颗粒的抗压强度是7到50MPa。

2.如权利要求1所述的热喷涂粉末，其特征在于，所述热喷涂粉末的体积比重与真比重的比率是0.10到0.30。

3.如权利要求1所述的热喷涂粉末，其特征在于，所述粒化烧结颗粒的细孔尺寸的频率分布在等于或大于1μm处具有局部最大值。

4.一种通过等离子体热喷涂权利要求1至3中任意一项所述的热喷涂粉末形成热喷涂涂层的方法。

5.一种抗等离子体构件，设置并用在等离子体处理室内，所述等离子体处理室用于处理由等离子体处理的物体，包括：

衬底；以及

热喷涂涂层，设置在暴露于所述等离子体的所述衬底的至少一个表面上；

其特征在于，所述热喷涂涂层由热喷涂粉末通过热喷涂形成，所述热喷涂粉末包含原子量从60到70的任意稀土元素组成的粒化烧结颗粒，组成所述粒化烧结颗粒的原始颗粒的平均颗粒尺寸是2到10μm，所述粒化烧结颗粒的抗压强度是7到50MPa。

6.如权利要求5所述的抗等离子体构件，其特征在于，所述衬底由铝、铝合金、含铝陶瓷以及含碳陶瓷中至少一种物质形成。

7.如权利要求5或6所述的抗等离子体构件，其特征在于，所述热喷涂涂层通过等离子体热喷涂所述热喷涂粉末形成。