[发明专利]用于去除沉积在工件上杂质的清洁装置有效
| 申请号： | 200710167401.6 | 申请日： | 2007-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN101168156A | 公开（公告）日： | 2008-04-30 |
| 发明（设计）人： | 市桥薫 | 申请（专利权）人： | 株式会社滋贺山下 |
| 主分类号： | B08B3/00 | 分类号： | B08B3/00;B08B3/10 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 蒋旭荣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 去除 沉积 工件 杂质 清洁 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种清洁装置，其用于去除沉积在工件上的杂质，所述清洁装置包括：
清洁室，其上设置用于放入工件的开孔；
工件保持夹具，其布置在清洁室中；
驱动单元，用于通过伺服电机旋转驱动夹具，该驱动单元布置在清洁室外；
清洁喷嘴，其设置在清洁室内；以及
液体排放口，用于从清洁室中排放积累在清洁室中的清洁液体。
2.如权利要求1所述的清洁装置，其中伺服电机是数字控制的。
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