[发明专利]抽空装置

权利要求书

1.一种用于抽空箱、腔等的抽空装置，其中，在外部真空泵的上游侧设置机械式升压泵；其中，机械式升压泵包括用于排放低压缩气体的排气孔和用于排放高压缩气体的排气孔；其中，当外部真空泵开始排放气体时，气体通过用于排放低压缩气体的排气孔和用于排放高压缩气体的排气孔输送到外部真空泵，当排放气体的压力随后达到通过外部真空泵获得的最终压力时，气体只通过用于排放高压缩气体的排气孔输送到外部真空泵。

2.根据权利要求1所述的抽空装置，还包括用于检测箱、腔等的真空度的压力传感器；

其中，当通过来自压力传感器的信号检测到最终压力时，所安装的控制器关闭设置在用于排放低压缩气体的排气孔和外部真空泵之间的开/关阀。

3.根据权利要求1所述的抽空装置，还包括控制器；

其中，在外部真空泵开始排放气体后经过预定时间直到达到最终压力的情况下，控制器关闭设置在用于排放低压缩气体的排气孔和外部真空泵之间的开/关阀。

4.根据权利要求1所述的抽空装置，其中，机械式升压泵是爪型真空泵；其中，用于排放高压缩气体的排气孔位于泵壳的壁上，该壁在垂直于泵转子的轴的平面内，而用于排放高压缩气体的排气孔对着压缩空间；其中，用于排放低压缩气体的排气孔位于平行于包含泵转子的旋转轴的平面的平面内，而且用于排放低压缩气体的排气孔位于泵壳的侧壁表面上；另外，其中用于排放低压缩气体的排气孔的横截面积远大于用于排放高压缩气体的排气孔的横截面积。