[发明专利]间距紧密的、高纵横比的挤出的网格线

权利要求书

1.一种用于在基底上形成多个间距紧密的、高纵横比网格线结构的方法，该方法包括：

将第一和第二共挤出头布置于邻近基底表面的位置，使得第一共挤出头的第一出口孔限定沿第一方向延伸的第一条线，第二共挤出头的第二出口孔限定第二条线，第二条线与第一条线分开且平行；

当通过第一和第二出口孔中的每一个挤出网格线物质和牺牲物质时，相对于基底沿第二方向移动第一和第二共挤出头，使得从第一和第二出口孔中的每一个挤出的所述的网格线物质形成相关联的高纵横比的网格线结构，并且从第一和第二出口孔中的每一个挤出的所述牺牲物质形成相关联的的第一和第二牺牲物质部分，它们分别被置于所述相关大宽度比的网格线结构的两侧；

其中所述第一出口孔和第二出口孔被交错排列，使得从所述第一共挤出头挤出的第一所述的高纵横比网格线结构被设置在从第二共挤出头中挤出的第二和第三所述高纵横比的网格线结构之间。

2.一种用于在基底上形成多个高纵横比的网格线结构的设备，该设备包括：

被置于基底表面上的第一和第二共挤出头，使得第一共挤出头的第一出口孔限定沿第一方向延伸的第一条线，第二共挤出头的第二出口孔限定平行于第一条线的第二条线；

移动装置，用于相对于基底沿第二方向移动第一和第二共挤出头，同时促使第一和第二共挤出头通过第一和第二出口孔中的每一个挤出网格线物质和牺牲物质，使得从第一和第二出口孔中的每一个挤出的所述网格线物质形成所述多个高纵横比的网格线结构的相关联的网格线结构，并且从第一和第二出口孔中的每一个挤出的所述牺牲物质形成相关联的第一和第二牺牲物质部分，这些部分分别被布置在所述相关网格线结构的相反的两面上。

其中第一和第二共挤出头被定位成使得所述的第一出口孔和所述的第二出口孔交错排列，从而由第一共挤出头挤出的第一所述网格线结构被置于从第二共挤出头挤出的第二和第三所述网格线结构之间。

3.一种用于制造光电器件的方法，该方法包括以下步骤：

形成半导体基底，该基底包括限定第一表面的P型区域以及限定第二表面的N型区域；

在半导体基底的第一和第二表面中的选定的一个面上形成多个间距紧密的高纵横比的金属网格线，其中形成金属网格线的步骤包括：

将第一和第二共挤出头置于邻近所选的基底表面的位置，使得第一共挤出头的第一出口孔限定沿第一方向延伸的第一条线，并且第二共挤出头的第二出口孔限定第二条线，该第二条线与第一条线分开且平行；以及

相对于半导体基底沿第二方向移动第一和第二共挤出头，同时通过第一和第二出口中的每一个挤出金属物质和牺牲物质，使得从第一和第二出口孔挤出的所述金属物质形成相关联的高纵横比的金属网格，并且从第一和第二出口孔挤出的所述牺牲物质形成相关联的第一和第二牺牲物质部分，这两部分别位于所述对应纵横比的金属网格的相反的两面上，

其中第一所述出口孔和第二所述出口孔交错排列，使得从第一共挤出头挤出的第一所述高纵横比的金属网格被置于从第二共挤出头挤出的第二和第三所述高纵横比的金属网格之间。