[发明专利]一种多晶硅铸锭炉

权利要求书

1、一种多晶硅铸锭炉，包括炉底2通过液压提升缸20与炉筒6相连接 并通过支腿5、调整垫铁4安装在机座1上，炉盖9安装在炉筒6上， 炉底2上设置有观察孔3，安装着由滑座25、丝杠26、减速器27、电 机28、导向导轨29等组成的下传动部件，滑座25通过连杆23与保温 底板21连接，并通过波纹管24实现密封，滑座25移动通过连杆23带 动保温底板21移动，使得保温底板21与保温罩15脱开满足工艺需 要。炉底2内装有支撑柱22支撑导热块18，导热块18上面放置被加 热的多晶硅料及坩埚系统16，多晶硅料及坩埚系统16通过加热器17 进行加热，加热器17的加热能量通过水冷电缆11和电极8传送，电极 8通过绝缘套14与炉盖9连接；保温罩15通过支脚19与炉筒6固 定，炉筒6又抽真空口7，炉盖9上部安装着观察孔12和充气孔13； 温度传感器10、30、31用来测量工艺温度；液压提升油缸20用来升 降炉底2，实现装料、取料工作。

2、根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于滑座25移 动通过连杆23带动保温底板21移动，使得保温底板21与保温罩15脱 开满足工艺需要。

3、根据权利要求1或2所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于炉底2 通过液压提升油缸20实现升降；炉底2上设置有观察孔3。