[发明专利]非共线质量分辨阈值电离光谱仪

权利要求书

1.非共线质量分辨阈值电离光谱仪，其特征在于，惰性气体载气源(1)、减压阀(2)、第一载气管(3)、样品池(4)、第二载气管(5)、真空腔(6)、分子泵(7)、机械泵(8)、溢流阀(9)、漏勺(10)、离子信号探测器(17)、门积分电路(18)、示波器(19)、第一脉冲电源(20)、第二脉冲电源(21)、第三脉冲电源(22)、同步辐射光源(23)、第一极板(11)、第二极板(12)、第三极板(13)、第四极板(14)、第五极板(15)和第六极板(16)；

减压阀(2)的两端分别与惰性气体载气源(1)和第一载气管(3)连接，第一载气管(3)与样品池(4)连通，样品池(4)为封闭的容器，当样品池(4)放入样品液时，第一载气管(3)末端位于液面以下；第二载气管(5)的一端与样品池(4)连通，另一端穿过真空腔壁与真空腔(6)中的溢流阀(9)连通，样品池(4)为封闭的容器，当样品池(4)放入样品液时，第一载气管(3)末端位于液面以下，第二载气管(5)的位于液面之上；漏勺(10)安置在溢流阀(9)的中心线上，与溢流阀(9)同轴；

离子透镜由中心开有圆孔的圆形不锈钢极板组成，沿溢流阀(9)和漏勺(10)的中心线依次共轴安置第一组极板，第一极板(11)、第二极板(12)和第六极板(16)；其中第一极板(11)与真空腔(7)外的第一脉冲电源(22)连接，第二极板(10)和第六极板(14)分别接地；第三极板(13)和第四极板(14)分别安置在第二极板(12)和第六极板(16)中间的底端和顶端，在第四极板(14)的上面依次安置第五极板(15)和离子信号探测器(17)；第三极板(13)、第四极板(14)、第五极板(15)和离子信号探测器(17)共轴，其中心线与第二极板(12)和第六极板(16)的中心线垂直并相交；其中第三极板(13)和第四极板(14)分别与真空腔(7)外的第二脉冲电源(21)和第三脉冲电源(20)连接，第五极板(15)接地；

第二组极板由第三极板(13)、第四极板(14)和第五极板(15)组成，均为圆形，其中第四极板(14)和第五极板(15)的中心开有圆孔，第三极板(13)和第四极板(14)分别安置在第二极板(12)和第六极板(16)中间的底端和顶端，在第四极板(14)的上面依次安置第五极板(15)和探测器(17)；第三极板(13)、第四极板(14)、第五极板(15)和探测器(17)共轴，其中心线与第二极板(12)和第六极板(16)的中心线垂直并相交；其中第三极板(13)和第四极板(14)分别与真空腔(6)外的第二脉冲电源(21)和第三脉冲电源(20)连接，第五极板(15)接地；

探测器(17)的输出端分别与真空腔(6)外的门积分电路(18)和示波器(19)连接；

同步辐射光源(23)安置在第一极板(11)和第二极板(12)中心的垂直位置上方，使得同步辐射光源(23)发射的同步辐射光正好射到第一极板(11)和第二极板(12)之间的中心位置；

机械泵(8)与分子泵(7)连通，分子泵(7)与真空腔(6)连通，机械泵(8)和分子泵(7)保证整个真空腔(6)中的真空度在10^-5Pa以上。

2.根据权利要求1所述的非共线质量分辨阈值电离光谱仪，其特征在于，所述的第一极板(11)直径60mm，孔径4mm，厚2mm；所述的第二极板(12)直径60mm，孔径4mm，厚2mm，与第一极板(11)间距20mm；所述的第六极板(16)直径60mm，厚2mm，与第一极板(11)间距72mm，与第二极板(12)间距50mm。

3.根据权利要求1所述的非共线质量分辨阈值电离光谱仪，其特征在于，所述的第三极板(13)直径40mm，厚2mm，距第二极板(12)5mm，且位于第一极板(11)和第二极板(12)的中轴线上方10mm；所述的第四极板(14)直径40mm，孔径10mm，厚2mm，它与第三极板(13)对齐且位于第一极板(11)和第二极板(12)的中轴线下方10mm；所述的第五极板(15)直径40mm，孔径10mm，厚2mm，距第三极板(13)42mm，距第四极板(14)20mm。

4.根据权利要求1所述的非共线质量分辨阈值电离光谱仪，其特征在于，所述的第二脉冲电源(21)和第三脉冲电源(20)为1000HZ的脉冲电源。