[发明专利]一种无籽晶垂直气相生长溴化铊单晶方法有效

专利信息
申请号: 200710168947.3 申请日: 2007-12-19
公开(公告)号: CN101260563A 公开(公告)日: 2008-09-10
发明(设计)人: 周东祥;余石金;龚树萍;郑志平;权琳 申请(专利权)人: 华中科技大学
主分类号: C30B29/12 分类号: C30B29/12;C30B23/00
代理公司: 华中科技大学专利中心 代理人: 曹葆青
地址: 430074湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 籽晶 垂直 相生 长溴化铊单晶 方法
【权利要求书】:

1、一种无籽晶垂直气相生长溴化铊单晶方法,具体步骤如下:

(1)清洁圆柱形安瓿;

(2)将溴化铊原料填充安瓿,抽真空,密封,并将安瓿一端加工成锥角15~35°、高度10~40mm的圆锥形;

(3)将安瓿放入垂直管式炉,其圆锥端指向炉顶部,封闭管式炉,加热,使得垂直管式炉的上部温度为410~440℃,下部温度为480~540℃,中部温度梯度为8~13℃/cm,再保温120~160h;

(4)安瓿随炉自然冷却至室温。

2、根据权利要求1所述的无籽晶垂直气相生长溴化铊单晶方法,其特征在于,所述垂直管式炉采用上下两个加热器加热。

3、根据权利要求1或2所述的无籽晶垂直气相生长溴化铊单晶方法,其特征在于,所述步骤(3)在保温48小时后增大所述垂直管式炉上部和下部间的温差。

4、根据权利要求1或2所述的无籽晶垂直气相生长溴化铊单晶方法,其特征在于,所述步骤(1)具体为:

(1.1)将安瓿置于马弗炉中,温度控制在600~650℃,时间为5~6小时;

(1.2)将焙烧后的安瓿在碱浴中浸泡5~10小时;

(1.3)将浸泡后的安瓿用10MΩ以上的去离子水反复冲洗,烘干。

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