[发明专利]一种无籽晶垂直气相生长溴化铊单晶方法有效
申请号: | 200710168947.3 | 申请日: | 2007-12-19 |
公开(公告)号: | CN101260563A | 公开(公告)日: | 2008-09-10 |
发明(设计)人: | 周东祥;余石金;龚树萍;郑志平;权琳 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | C30B29/12 | 分类号: | C30B29/12;C30B23/00 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心 | 代理人: | 曹葆青 |
地址: | 430074湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 籽晶 垂直 相生 长溴化铊单晶 方法 | ||
1、一种无籽晶垂直气相生长溴化铊单晶方法,具体步骤如下:
(1)清洁圆柱形安瓿;
(2)将溴化铊原料填充安瓿,抽真空,密封,并将安瓿一端加工成锥角15~35°、高度10~40mm的圆锥形;
(3)将安瓿放入垂直管式炉,其圆锥端指向炉顶部,封闭管式炉,加热,使得垂直管式炉的上部温度为410~440℃,下部温度为480~540℃,中部温度梯度为8~13℃/cm,再保温120~160h;
(4)安瓿随炉自然冷却至室温。
2、根据权利要求1所述的无籽晶垂直气相生长溴化铊单晶方法,其特征在于,所述垂直管式炉采用上下两个加热器加热。
3、根据权利要求1或2所述的无籽晶垂直气相生长溴化铊单晶方法,其特征在于,所述步骤(3)在保温48小时后增大所述垂直管式炉上部和下部间的温差。
4、根据权利要求1或2所述的无籽晶垂直气相生长溴化铊单晶方法,其特征在于,所述步骤(1)具体为:
(1.1)将安瓿置于马弗炉中,温度控制在600~650℃,时间为5~6小时;
(1.2)将焙烧后的安瓿在碱浴中浸泡5~10小时;
(1.3)将浸泡后的安瓿用10MΩ以上的去离子水反复冲洗,烘干。
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