[发明专利]非接触微镜

权利要求书

1、一种微镜装置，包括：

基板支撑的铰链；

围绕所述铰链可倾斜的镜板，其中所述铰链被配置成当所述镜板倾斜离开 非倾斜位置时，在所述镜板上产生弹性恢复力；以及

控制器，所述控制器被配置成产生静电力以克服弹性恢复力以将镜板从所 述非倾斜位置倾斜到“打开”位置或“关闭”位置，其中所述静电力被配置成对抗 所述弹性恢复力以将所述镜板保持在所述“打开”位置或“关闭”位置。

2、根据权利要求1的微镜装置，其中所述铰链被配置成在所述静电力被降 低或移去之后将所述镜板弹性地恢复到所述非倾斜位置。

3、根据权利要求1的微镜装置，还包括所述基板上的电极，其中所述控制 器被配置成施加电压到所述电极以产生所述静电力。

4、根据权利要求1的微镜装置，其中所述镜板在处于所述非倾斜位置时大 致平行于所述基板的上表面。

5、根据权利要求1的微镜装置，其中相对于所述非倾斜位置，在所述“打 开”位置或“关闭”位置的倾斜角是3度或3度以上。

6、根据权利要求5的微镜装置，其中相对于所述非倾斜位置，在所述“打 开”位置或“关闭”位置的倾斜角是4度或4度以上。

7、根据权利要求1的微镜装置，其中所述铰链包括选自由以下材料构成的 组中的材料：具有大约30％和70％之间的钛组分的钛镍合金、具有大约30％ 和70％之间的钛组分的钛铝合金、具有大约5％和20％之间的铜组分的铝铜合 金和具有在大约0和15％范围内的氮组分的氮化铝钛。

8、根据权利要求1的微镜装置，其中所述非倾斜位置不同于所述“打开” 位置和“关闭”位置。

9、根据权利要求1的微镜装置，其中所述非倾斜位置与所述“打开”位置或 “关闭”位置中的一个相同。

10、一种微镜装置，包括：

基板支撑的铰链；

围绕所述铰链可倾斜的镜板；以及

控制器，所述控制器被配置成产生电信号以便将所述镜板保持在相对于所 述基板的表面两度或两度以上的倾斜方向上而不导致所述镜板接触所述基板上 除所述铰链之外的任何结构，其中所述铰链被配置成将所述镜板从所述倾斜方 向弹性地恢复到大致平行于所述基板。

11、根据权利要求10的微镜装置，其中所述方向是相对于所述基板的表面 3度或3度以上，并且所述铰链被配置成将所述镜板从所述倾斜方向弹性地恢复 到大致平行于所述基板。

12、根据权利要求11的微镜装置，其中所述方向是相对于所述基板的表面 4度或4度以上，并且所述铰链被配置成将所述镜板从所述倾斜方向弹性地恢复 到大致平行于所述基板。

13、根据权利要求10的微镜装置，其中所述铰链包括选自由以下材料构成 的组中的材料：具有大约30％和70％之间的钛组分的钛镍合金、具有大约30％ 和70％之间的钛组分的钛铝合金、具有大约5％和20％之间的铜组分的铝铜合 金和具有大约0和15％之间的氮组分的氮化铝钛。

14、根据权利要求13的微镜装置，其中所述铰链包括氮化铝钛，并且所述 氮化铝钛中的铝和钛具有近似相等的组分。

15、根据权利要求13的微镜装置，其中所述铰链包括氮化铝钛，并且所述 氮化铝钛中的氮组分是在大约0和10％之间。

16、根据权利要求13的微镜装置，其中所述铰链包括钛镍合金，并且所述 钛镍合金中的钛组分在大约40％和60％之间。

17、根据权利要求13的微镜装置，其中所述铰链包括钛镍合金，并且所述 钛镍合金中的钛组分在大约45％和55％之间。

18、根据权利要求13的微镜装置，其中所述铰链包括钛铝合金，并且所述 钛铝合金中的钛组分在大约40％和60％之间。