[发明专利]分割脆性材料的方法和装置

权利要求书

1、一种分割脆性材料方法，包括：工作头，该工作头相对于脆性材料移动；槽形成机构，其设置在工作头上并且沿脆性材料的预定分割线在脆性材料上形成微小连续的槽；分割机构，其设置在工作头上，并且随着槽形成机构移动、通过用激光束照射脆性材料而使裂缝从微小槽扩展；检测装置，其设置在工作头上并且检测预定分割线的部位是否被分割；以及存储装置，它存储由检测装置检测到的未分割部分的位置，

工作头相对于脆性材料从预定分割线的一端移动到另一端，于是通过槽形成机构沿预定分割线形成连续的微小槽，然后，利用分割机构使裂缝从微小槽扩展来进行分割，分割部分被检测装置检测，而被检测装置检测到的未分割部分的位置通过存储装置被存储，当检测到未分割部分时，工作头沿未分割部分移动，不通过槽形成机构形成槽，而利用分割机构按照预定分割线、用激光束照射脆性材料使脆性材料被精确分割。

2、根据权利要求1所述的分割脆性材料方法，其特征在于，检测装置包括向脆性材料照射检测光的检测光照射装置和光接收装置，当从检测光照射装置向脆性材料发出的检测光被脆性材料的分割表面反射时，该光接收装置接收反射光，并且检测光照射装置和光接收装置被设置在脆性材料的前表面侧以检测未分割部分。

3、一种分割脆性材料的装置，包括：槽形成机构，它在脆性材料上沿脆性材料的预定分割线形成微小连续的槽；以及分割机构，随着槽形成机构移动、通过用激光束照射脆性材料而使裂缝从微小槽扩展，其特征在于，所述装置还包括检测装置，它检测预定分割线的部位是否被分割，该检测装置包括向脆性材料照射检测光的检测光照射装置和光接收装置，当从检测光照射装置向脆性材料发出的检测光被脆性材料的分割表面反射时，该光接收装置接收反射光，并且检测光照射装置和光接收装置被设置成在脆性材料的前表面侧相对于分割表面平行地移动。

4、一种分割脆性材料的装置，包括：槽形成机构，它在脆性材料上沿脆性材料的预定分割线形成微小连续的槽；以及分割机构，随着槽形成机构移动、通过用激光束照射脆性材料而使裂缝从微小槽扩展，其特征在于，所述装置还包括检测装置，它检测预定分割线的部位是否被分割，该检测装置包括向脆性材料照射检测光的检测光照射装置和光接收装置，当从检测光照射装置向脆性材料发出的检测光被脆性材料内部的背表面反射时，该光接收装置接收反射光，检测光照射装置和光接收装置被设置成能在脆性材料的前表面侧相对于分割表面平行地移动，并且当即使检测光从检测光照射装置被照射到脆性材料上而光接收装置没有接收到反射光时，检测装置判断已形成分割表面。

5、根据权利要求3或4所述的分割脆性材料的装置，其特征在于，能够相对于脆性材料移动的工作头具有槽形成机构和分割机构，所述装置包括移动工作头的移动机构、还包括控制装置，该控制装置控制移动机构的操作并且具有存储由检测装置检测到的未分割部分的位置的存储装置，工作头相对于脆性材料从预定分割线的一端移到它的另一端，由此沿预定分割线形成连续的微小槽，然后，利用分割机构使裂缝从微小槽扩展而进行分割，分割部分被检测装置检测，而被检测装置检测到的未分割部分的位置通过存储装置被存储，并且当未分割部分被检测装置检测到时，工作头沿未分割部分移动，利用分割机构、通过用激光束照射脆性材料，没有通过槽形成机构形成槽地按照预定分割线精确地分割脆性材料。