[发明专利]载置装置

权利要求书

1.一种载置装置，设置在能够在水平方向上移动的台机构上，其特征在于，包括：

载置被处理体的载置台；支承该载置台并且形成为直径比所述载置台小的筒状的升降体；在该升降体的外周面上，在圆周方向上相互隔开相等间隔设置的多个升降导轨；和具有垂直壁的支承体，该垂直壁上固定有与所述各升降导轨分别卡合的卡合体。

2.如权利要求1所述的载置装置，其特征在于：

在所述升降体的外周面上，在圆周方向上相互隔开相等间隔而垂直地设置有多个加强部。

3.如权利要求2所述的载置装置，其特征在于：

所述各加强部分别配置在所述各升降导轨的中间。

4.如权利要求2或3所述的载置装置，其特征在于：

在所述加强部的上端设置有支承所述载置台的突出部。

5.如权利要求2～4中任一项所述的载置装置，其特征在于：

所述升降导轨和所述加强部分别设置在所述升降体的外周面的三个部位。