[发明专利]用于确定处理系统中告警根本原因的方法和系统

权利要求书

1.一种用于控制处理系统的方法，该方法包括：

从所述处理系统的多个操作单元收集告警，每个操作单元包括多个操作组件；

将每个告警与知识库中的相应操作组件相关联；

分析所述知识库中的数据以识别告警的根本原因；以及

基于所识别的根本原因来控制所述处理系统。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述多个操作组件包括硬件组件、软件组件和目标组件中的至少一种。

3.根据权利要求2所述的方法，其中所述多个操作组件包括微电子处理中的制程、工具、腔室和晶片中的至少一种。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述分析包括将与操作单元的操作组件相关联的大量告警标准化。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述分析包括统计地将告警与操作组件相互关联。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述告警具有相同的格式。

7.一种用于控制处理系统的系统，该系统包括：

用于从所述处理系统的多个操作单元收集告警的装置，每个操作单元包括多个操作组件；

用于将每个告警与知识库中的相应操作组件相关联的装置；

用于分析所述知识库中的数据以识别告警的根本原因的装置；以及

用于基于所识别的根本原因控制所述处理系统的装置。

8.根据权利要求7所述的系统，其中所述多个操作组件包括硬件组件、软件组件和目标组件中的至少一种。

9.根据权利要求8所述的系统，其中所述多个操作组件包括微电子处理中的制程、工具、腔室和晶片中的至少一种。

10.根据权利要求7所述的系统，其中所述分析装置还将与操作组件相关联的大量告警标准化。

11.根据权利要求7所述的系统，其中所述分析装置统计地将告警与操作单元的操作组件相互关联。

12.根据权利要求7所述的系统，其中所述告警具有相同的格式。

13.一种生成用于控制处理系统的系统的方法，该方法包括：

提供计算机基础设施，该计算机基础设施可操作为：

从所述处理系统的多个操作单元收集告警，每个操作单元包括多个操作组件；

将每个告警与知识库中的相应操作组件相关联；

分析所述知识库中的数据以识别告警的根本原因；以及

基于所识别的根本原因来控制所述处理系统。

14.根据权利要求13所述的方法，其中所述多个操作组件包括硬件组件、软件组件和目标组件中的至少一种，这些操作组件的信息由所述计算机基础设施以与所述告警相同的格式来收集。