[发明专利]一种自动调焦调平装置

权利要求书

1.一种自动调焦调平装置，应用于光刻机中以测量出待测硅片表面相对于投影物镜焦平面的高度值和倾斜量，从而实现上述硅片的调焦调平，其中，该自动调焦调平装置具有电气相连的光学模块和控制模块，其特征在于，该光学模块包括：

照明单元，其将光源形成数个平行的子光束后再变为数个方形光斑；

投影单元，其使上述每个方形光斑放大并投影成像在被测硅片上；

探测单元，其探测上述光斑经待测硅片表面反射后成像的位置；及

自检单元，其使上述光斑产生不同的光能量并发出一电信号。

2.如权利要求1所述的自动调焦调平装置，其特征在于：该自检单元包括依次排列的平板玻璃、探测狭缝及数个光电探测器，其中该探测狭缝具有数个缝隙，该等光电探测器均位于该探测狭缝后方，每一光电探测器均相对于该探测狭缝上的一个缝隙位置，用于检测通过该等缝隙的光能量。

3.如权利要求2所述的自动调焦调平装置，其特征在于：该平板玻璃做高频的小幅振动，使上述光斑与该探测狭缝之间产生相对位移，从而使通过该探测狭缝到达该光电探测器的能量也随之发生变化。

4.如权利要求1所述的自动调焦调平装置，其特征在于：该电信号进入到该控制模块，经过该控制模块的解调，以精确计算出当前硅片的位置。

5.如权利要求4所述的自动调焦调平装置，其特征在于：该控制模块包括微处理器、接口集成电路、IC集成块、存储器、驱动单元和马达。

6.如权利要求1所述的自动调焦调平装置，其特征在于：该照明单元具有依次排列的第一透镜、滤光片、第二透镜、第三透镜、投影狭缝、第一反射镜。

7.如权利要求6所述的自动调焦调平装置，其特征在于：该投影狭缝与上述探测狭缝具有同样形状的通光缝隙。

8.如权利要求1所述的自动调焦调平装置，其特征在于：该投影单元具有依次排列的第四透镜、光阑、第五透镜和第六透镜。

9.如权利要求1所述的自动调焦调平装置，其特征在于：该探测单元具有依次排列的第七透镜、第八透镜、第九透镜、第二反射镜、第十透镜、第十一透镜和第三反射镜。