[发明专利]一种折反射式投影光学系统

权利要求书

1.一种折反射式投影光学系统，其特征在于：所述折反射式投影光学系统包括：

由第一透镜组和第二透镜组组成的第一透镜系统；

与入射主光轴呈45度设置的平面反射镜；

反射凹面朝向所述平面反射镜且相互成直角设置的球面反射镜一和球面反射镜二；以及

第三透镜组；

成像光穿过所述第一透镜系统后，射向所述平面反射镜的背面；所述成像光一部分被所述平面反射镜吸收，未被吸收的部分射向所述球面反射镜一；所述球面反射镜一反射成像光线到所述平面反射镜的反射面；所述平面反射镜的反射面将所述成像光反射到所述球面反射镜二；所述成像光经过所述球面反射镜二反射，一部分被所述平面反射镜遮挡，未被遮挡的部分进入所述第三透镜组在像面成像。

2.根据权利要求1所述的折反射式投影光学系统，其特征在于：所述第一透镜组与第二透镜组之间的空间距离需要大于入射到所述第二透镜组的所述成像光尺寸的1.5倍。

3.根据权利要求1所述的折反射式投影光学系统，其特征在于：从所述第二透镜组出射的光束角度小于5度。

4.根据权利要求1所述的折反射式投影光学系统，其特征在于：所述平面反射镜的拦光区域小于入射的所述成像光的30％。

5.根据权利要求1所述的折反射式投影光学系统，其特征在于：所述平面反射镜的一个表面镀有高反射膜，另一个表面镀吸收膜。

6.根据权利要求1所述的折反射式投影光学系统，其特征在于：所述平面反射镜的材料基底为低热膨胀系数的材料。

7.根据权利要求6所述的折反射式投影光学系统，其特征在于：所述低热膨胀系数的材料可以是SiO₂。

8.根据权利要求1所述的折反射式投影光学系统，其特征在于：所述第三透镜组靠近像面的镜片表面可以为平面。

9.根据权利要求1所述的折反射式投影光学系统，其特征在于：所述折反射式投影光学系统应用于大于0.75的数值孔径时，可以将球面反射镜一和球面反射镜二替换为非球面反射镜。

10.根据权利要求1所述的折反射式投影光学系统，其特征在于：所述像面与所述第三透镜组靠近像面的镜片之间可以填充液体介质。

11.根据权利要求1所述的折反射式投影光学系统，其特征在于：所述成像光可以使用紫外波段的光谱，所述紫外波段的光谱可以是365nm，可以是248nm、可以是193nm，还可以是157nm。

12.根据权利要求1所述的折反射式投影光学系统，其特征在于：所述平面反射镜可以使用不同尺寸进行替换。