[发明专利]一种微纳湿度传感器制备方法

权利要求书

1.一种微纳湿度传感器的制备方法，其特征是：

A、首先通过微加工技术在绝缘衬底上做出一层或多层平面金属微电极；

B、而后将传感纳米材料放入一种电介质溶剂中，并通过超声使其扩散均匀制成含有纳米材料的悬浮液；取少量悬浮液滴入微电极中间，根据被操控材料和所选用溶剂的介电特性，确定在该系统中产生正介电泳现象所要施加操控信号的频率范围，从中选择一个适当的频率值；在电极两端施加一个同样频率和一定幅值的交流电信号，使位于其间的传感材料在正介电泳力作用下沿着电场线方向有序的排布在电极中间，形成纳米传感材料在微电极结构中的排布和跨接；

C、以挥发等方式完全去除溶剂后，进行传感结构引线封装做成最终微纳湿度传感器。

2.如权利要求1所述的一种微纳湿度传感器的制备方法，其特征是：这种操控不受材料本身导电特性，材料形状等的限制，适用于所有的纳米结构材料；任意选择一种电介质溶剂作为材料操控的载体；在实际应用中，常采用去离子水、乙醇或丙酮作电介质溶剂。