[发明专利]一种检测指定光强值所对应目标位置的方法

说明书

技术领域

本发明涉及光刻检测装置，尤其涉及一种检测指定光强值所对应目标位置的方法。

背景技术

对曝光成像质量进行检测的光刻检测装置，通常由掩模台1，投影物镜2，工件台3组成，如图1所示，工件台3可实现水平X、Y方向和垂向方向运动，检测装置用于将掩模上的图形以一定的比例转移到工件台3上，工件台3上装有传感器4，用于采集光强信号，实现像质检测。

检测装置曝光时，掩模上的通孔标记投影到工件台上，其边缘线条的像是一段光强渐变的区域，如图2所示。我们在很多像质检测中需要精确确定这个明暗过渡区102中指定光强所对应的某一位置，明暗过度区102夹在暗区101和明区103之间，如设定通孔投影区域中最大光强为参考光强，确定明暗过渡区102中50％参考光强所对应的位置。现有技术的检测方法是，工件台上的点传感器在明暗过渡区中垂直边缘线条的方向上，以固定的步长，进行多次采样光强，再利用光强数据拟和得到明暗过渡区上光强随位置变化的曲线表达式，确定目标位置。

这种定位目标方法的位置精度取决于采样的步长，步长越大，花费的时间越短，但精度越低；步长越小，精度越高，但是花费的时间长。当定位目标的精度要求很高时，采样的步长必须很小，那么在固定的采样长度区域内采样的点数必然增加，花费的时间相应的增加。

发明内容

本发明为克服现有技术中为精确检测指定光强所对应的目标位置，耗费时间长的缺点，提供了一种检测指定光强值所对应目标位置的方法。

一种检测指定光强值所对应目标位置的方法，包括，

(1)、在工件台上通孔像明区的一个确定位置采样第一点，保证采样的光强值与指定光强值差的绝对值大于光强阈值，且采样点光强值大于指定光强值；

(2)、在垂直于通孔边缘线条方向，并远离通孔的暗区采样第二点，两点距离为L，保证采样的光强值与指定光强值之差的绝对值大于光强阈值，且采样点光强值小于指定光强值；

(3)当第一点与第二点的位置距离大于位置阈值时，在第一点和第二点之间，距离第二点L/2处采样第三点；

(4)若第三点的光强值与指定光强值之差的绝对值大于光强阈值，且第二点与第三点距离大于位置阈值时，进行第四点的采样；

(5)、依此类推，每次采样的位置均位于两侧最近两点的中心，且保证两边的两个采样点一个是大于指定光强值，一个小于指定光强值，与指定光强值差的绝对值大于光强阈值；

(6)、当相邻两采样点的距离之差大于位置阈值的绝对值时，继续采样，直到小于位置阈值时，停止采样。

其中所述步骤(4)中，若第三点的光强值大于指定光强值，则在第二点和第三点之间，距离第三点L/4处采样第四点，第四点光强值与指定光强值之差的绝对值大于光强阈值时，

a、若第四点光强值小于指定光强值，且第四点与第三点距离大于位置阈值时，则在第四点和第三点之间，距离第四点L/8处采样第五点；

b、若第四点光强值大于指定光强值，且第四点与第二点距离大于位置阈值时，则在第四点和第二点之间，距离第四点L/8处采样第五点。

其中所述步骤(4)中，若第三点的光强值小于指定光强值，则在第一点和第三点之间，距离第三点L/4处采样第四点，第四点光强值与指定光强值之差的绝对值大于光强阈值时，

a、若第四点光强值小于指定光强值，则在第四点和第一点之间，距离第四点L/8处采样第五点。

b、若第四点光强值大于指定光强值，则在第四点和第三点之间，距离第四点L/8处采样第五点。

其中所有采样的点必须位于一条直线上。

其中若指定光强值是I，其所对应的目标位置是X，最后一个采样点的位置是X₁，对应的光强值是I₁，倒数第二个采样点的位置是X₂，对应的光强值是I₂，则利用线形插值法可得到光强值为I时所对应的目标位置X，即