[发明专利]机器视觉动态标定系统与方法

权利要求书

1.一种机器视觉动态标定系统，用于步进光刻机的机器视觉对准系统的标定，其特征在于，包括：

一运动定位平台；对准运动定位平台的成像镜头；连接成像镜头的CCD摄像机；用于采集CCD摄像机图像的图像采集卡；控制计算机以及可驱动运动定位平台的运动控制器。

2.如权利要求1所述的机器视觉动态标定系统，其特征在于所述的运动定位平台使用高精度的运动定位平台。

3.如权利要求1所述的机器视觉动态标定系统，其特征在于所述控制计算机通过图像采集卡从CCD摄像机获取采集图像数据，并采用一定的标定算法模型进行处理。

4.如权利要求1和2所述的机器视觉动态标定系统，其特征在于所述控制计算机通过运动控制器驱动高精度的运动定位平台，并决定其运动路径。

5.一种机器视觉动态标定方法，用于步进光刻机的机器视觉对准系统的标定，其方法如下：

按照一定路径定点驱动步进光刻机的机器视觉对准系统自身运动定位平台；

通过CCD摄像机连接成像镜头，对准运动定位平台以获取每个标记点的图像；

利用图像采集卡采集CCD摄像机图像输入控制计算机处理，获取每个标记点的图像像素坐标，同时记录下此时对应的运动定位平台的物理坐标；

将以上各个标记点的图像像素坐标和对应的运动定位平台物理坐标作为数据成对输入控制计算机，通过特定标定算法程序完成对机器视觉对准系统的标定。

6.如权利要求5所述的机器视觉动态标定方法，其特征在于所述的步进光刻机的机器视觉对准系统的自身运动定位平台，可进行高精度的移动定位。

7.如权利要求5所述的机器视觉动态标定方法，其特征在于所述运动定位平台的定点驱动，首先设定一起始位，然后按照特定路径跑完所有预设标记点。

8.如权利要求5和7所述的机器视觉动态标定方法，其特征在于，运动定位平台的定点驱动路径可以为螺旋形运动路径。

9.如权利要求5和7所述的机器视觉动态标定方法，其特征在于，运动定位平台的定点驱动路径可以为弓字形运动路径。

10.如权利要求5和7所述的机器视觉动态标定方法，其特征在于，运动定位平台的定点驱动路径可以为逐行单向运动路径。