[发明专利]控制和促进等离子体起辉的方法有效
| 申请号： | 200710175815.3 | 申请日： | 2007-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN101409975A | 公开（公告）日： | 2009-04-15 |
| 发明（设计）人： | 陈卓 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;G01J3/28;H01L21/00;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵镇勇 |
| 地址： | 100016北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 控制 促进 等离子体 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种控制和促进等离子体起辉的方法，在等离子体正常起辉的步骤前，设置等离子体预起辉的步骤，其特征在于，所述等离子体预起辉的步骤包括：
首先，设定等离子体光谱强度的阈值；
然后，在等离子体预起辉的过程中，检测等离子体的光谱强度，当该光谱强度大于等于所述阈值时，停止所述等离子体预起辉的步骤，进行等离子体正常起辉的步骤；
所述的阈值通过试验方法确定，具体包括：
在所述等离子体预起辉的步骤的工艺条件下，检测等离子体达到稳定时的光谱强度值；
设定所述的阈值为等离子体达到稳定时的光谱强度值的75％-85％；
所述等离子体预起辉的步骤中起辉的工艺条件比正常起辉的步骤中起辉的工艺条件容易。
2.根据权利要求1所述的控制和促进等离子体起辉的方法，其特征在于，所述的阈值为等离子体达到稳定时的光谱强度值的80％。
3.根据权利要求1所述的控制和促进等离子体起辉的方法，其特征在于，所述检测等离子体的光谱强度时，设置多个光谱采集点，当所述多个光谱采集点的光谱强度连续大于等于所述阈值时，停止所述等离子体预起辉的步骤。
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