[发明专利]一种双质量块调谐输出式硅MEMS陀螺仪有效
| 申请号： | 200710175886.3 | 申请日： | 2007-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN101135563A | 公开（公告）日： | 2008-03-05 |
| 发明（设计）人： | 房建成;李建利;盛蔚;楚中毅;秦杰;乙冉冉;宋星 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56;G01C21/18;G01P9/04;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人： | 关玲;李新华 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 质量 调谐 输出 mems 陀螺仪 | ||
1.一种双质量块调谐输出式硅MEMS陀螺仪，其特征在于：主要由静齿(101)、动齿(102)、第一质量块(1)、第二质量块(7)、第一外框架(3)、第二外框架(6)、杠杆(41)、(42)、(51)、(52)和两个音叉谐振器(81)、(82)组成。静齿(101)和动齿(102)构成了电容式极板，第一质量块(1)通过四个内折叠梁(11)、(12)、(13)、(14)连接在第一外框架(3)上，第二质量块(7)通过四个内折叠梁(71)、(72)、(73)、(74)连接在第二外框架(6)上，第一外框架(3)通过外支撑梁(31)、(32)固连在锚点(21)、(22)上，第二外框架(6)通过外支撑梁(61)、(62)固连在锚点(23)、(24)上，第一外框架(3)和第二外框架(6)之间通过折叠梁(361)、(362)相连；第一外框架(3)左右两侧分别通过杠杆(41)、(42)与音叉谐振器(81)、(82)自由端相连，第二外框架(6)左右两侧分别通过杠杆(51)、(52)与音叉谐振器(81)、(82)自由端相连；锚点(411)、(421)分别是杠杆(41)、(42)的支撑点，锚点(511)、(521)分别是杠杆(51)、(52)的支撑点，音叉谐振器(81)、(82)固定端分别与锚点(91)、(92)相连，通过测得两端音叉谐振器的谐振频率差计算外部输入转速；
2.根据权利要求1所述的双质量块调谐输出式硅MEMS陀螺仪，其特征在于：所述的第一质量块(1)和第二质量块(7)结构完全相同，内部嵌入梳状动齿，第一质量块(1)和第二质量块(7)沿Y轴做同频、等幅、反相振动；
3.根据权利要求1所述的双质量块调谐输出式硅MEMS陀螺仪，其特征在于：所述第一外框架(3)左右两侧的杠杆(41)、(42)和第二外框架(6)左右两侧的杠杆(51)、(52)的放大比例是通过调节杠杆支撑点位置设置的，实现哥氏力的放大功能，杠杆(41)、(42)、(51)、(52)的放大比例相同；
4.根据权利要求1或3所述的双质量块调谐输出式硅MEMS陀螺仪，其特征在于：所述杠杆(41)与杠杆(42)实现的力放大方向相同，杠杆(51)与杠杆(52)实现的力放大方向相同；
5.根据权利要求1或3所述的双质量块调谐输出式硅MEMS陀螺仪，其特征在于：所述杠杆(41)、(42)与杠杆(51)、(52)实现的力放大方向相反。
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