[发明专利]锡锗砷合金及其制备方法和应用

权利要求书

1.一种锡锗砷合金，其特征在于其成分组成及质量百分比：As：1-10％，Ge：0.05-5％，Sn：余量。

2.根据权利要求1所述锡锗砷合金，其特征在于：所述的As所占质量百分比为4-8％。

3.一种权利要求1所述锡锗砷合金的用途，其特征在于：它是用权利要求1所述的锡锗砷合金经冷压力加工制成隧道二极管用蒸镀材料。

4.一种权利要求1所述锡锗砷合金的用途，其特征在于：它是用权利要求1所述的锡锗砷合金经热压力加工制成隧道二极管用溅射靶材。

5.一种权利要求1所述锡锗砷合金的制备方法，其特征在于：

首先制备锡锗砷中间合金，再精炼为权利要求1所述的锡锗砷合金，方法步骤如下：

1)按不超权利要求1所述的配比范围计算、称重准备高纯锡、锗、砷材料，所述高纯锡、锗、砷材料的纯度均在5N以上；

2)按砷、锗、锡的顺序先后放入石英坩埚，然后将石英坩埚放入高压反应釜内；

3)抽真空4-6Pa；

4)向高压反应釜内充氩气，控制釜内压力在1-10MPa范围内；

5)升温，控制升温速度8-12℃/分钟；

6)控制高压反应釜内温度，最高至960℃，使锡、锗熔化；

7)控制高压反应釜内的温度变化使其不低于850℃，静止20-40分钟，精炼锡锗砷熔体，使其更加均匀；

8)保持高压反应釜内的压力，以18-25℃/分钟速度降温至50℃以下，取出冷却；得到中间合金锭；

9)按权利要求1所述的配比量，将得到的中间合金锭再与剩余锡、锗一起熔化精炼；控制炉内温度在300-500℃之间；

10)控制浇铸温度在300-350℃之间，浇铸，得到锡锗砷合金材料。

6.根据权利要求5所述锡锗砷合金的制备方法，其特征在于所述高纯锡的制备：用电解法对锡纯度为4N原材料进行提纯，去除杂质元素，使金属锡的纯度达到5N以上。

7.一种用权利要求1所述锡锗砷合金制造隧道二极管用蒸镀材料的方法，其特征在于方法步骤如下：将锡锗砷合金锭用冷压力加工方法进行压力加工，将其延展为用于制造隧道二极管用蒸镀材料的合金箔，用酸性清洗液清洗。

8.一种用权利要求1所述锡锗砷合金制造隧道二极管用溅射靶材的方法，其特征在于方法步骤如下：将锡锗砷合金锭用热压力加工方法进行压力加工，将其延展为用于制造隧道二极管用溅射靶材的合金锭坯，用酸性清洗液清洗。