[发明专利]一种基于狭缝波导的光学传感器

权利要求书

1.一个包括输入光波导和一个可动双狭缝波导的光学传感器结构，输入光波导的作用是将光耦合进双狭缝波导。双狭缝结构的作用是将光场限制在两个同向传输的低折射率狭缝中，两狭缝中的光场分布可以受到狭缝波导结构尺寸变化的影响。狭缝波导结构是由三个平板和两个狭缝相间形成的。

2.权利要求1中所述的光学传感器结构中，平板和狭缝的宽度远小于光波长，在几十至几百纳米之间。

3.权利要求1中所述的光学传感器结构中，两侧平板间的间距固定不变，而中间平板在输入端一侧的位置固定，而在输出端一侧与两侧平板的间距可变。

4.权利要求1中所述的光学传感器结构中，平板材料为高折射率材料，狭缝材料为低折射率材料，被覆层材料为低折射率材料(其材料可以与狭缝材料相同或不同)。平板和狭缝的材料折射率的比例应不小于1.6。

5.权利要求1中所述的光学传感器结构中，平板的材料为不可压缩的固体材料，狭缝的材料为可压缩或可流动的流体材料。

6.权利要求1中所述的光学传感器结构中，平板材料可以采用硅、高折射率玻璃、光学晶体等实现。狭缝材料可以采用气体、液体等实现。

7.权利要求1中所述的光学传感器结构中，平板在导光区域范围内的横截面形状可以矩形、梯形或其他相似形状。

8.权利要求1中所述的光学传感器结构中，通过测量上述传感器结构中输出端光强度的变化得到中间平板的位移信息。

9.基于上述权利要求1中所述的光学传感器结构的光学位移、温度、加速度和压力等传感器件。