[发明专利]Co-Fe-Zr系合金溅射靶材及其制造方法无效
| 申请号： | 200710180108.3 | 申请日： | 2007-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN101161854A | 公开（公告）日： | 2008-04-16 |
| 发明（设计）人： | 福冈淳;高岛洋;上野友典;藤本光晴;上野英 | 申请（专利权）人： | 日立金属株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14;B22F3/12 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | co fe zr 合金 溅射 及其 制造 方法 | ||
1.一种Co-Fe-Zr系合金溅射靶材，其特征在于，原子比的组成式用(Cox-Fe100-x)100-(Y+Z)-ZrY-MZ表示，其中，20≤X≤70、2≤Y≤15、2≤Z≤10，所述组成式的M元素为从Ti、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Si、Al、Mg中选出的一种或两种以上的元素，在显微组织中，微细分散有由HCP-Co构成的相和以Fe为主体的合金相。
2.一种Co-Fe-Zr系合金溅射靶材，其特征在于，原子比的组成式用(Cox-Fe100-x)100-(Y+Z)-ZrY-MZ表示，其中，20≤X≤70、2≤Y≤15、2≤Z≤10，所述组成式的M元素为从Ti、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Si、Al、Mg中选出的一种或两种以上的元素，在显微组织中，在由HCP-Co构成的主相中，微细分散有以Fe为主体的合金相。
3.根据权利要求1或2所述的Co-Fe-Zr系合金溅射靶材，其特征在于，所述由HCP-Co构成的相及以Fe为主体的合金相的平均粒径为200μm以下。
4.一种权利要求1或2所述的Co-Fe-Zr系合金溅射靶材的制造方法，其特征在于，对Co粉末和对Fe、Zr及M元素进行了合金化处理后的合金粉末混合后的混合粉末进行加压烧结。
5.一种权利要求1或2所述的Co-Fe-Zr系合金溅射靶材的制造方法，其特征在于，对Co粉末和对Fe、Co、Zr及M元素进行了合金化处理后的合金粉末混合后的混合粉末进行加压烧结。
6.根据权利要求4或5所述的Co-Fe-Zr系合金溅射靶材的制造方法，其特征在于，所述合金化处理为合金熔液的急冷凝固处理。
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