[发明专利]可变形镜和具有该可变形镜的光学拾取装置

权利要求书

1.一种可变形镜，包括：

驱动部，其包括压电膜、以及将该压电膜夹在中间的第一电极膜和第二电极膜；

基板，其用于支撑该驱动部，并且与该第一电极膜接触；以及

镜膜，其通过该驱动部的驱动而变形；其中，

该第一电极膜和该第二电极膜中的至少一个电极膜被分成多个分割电极；以及

该驱动部包括执行该镜膜的主要变形的部分和执行该镜膜的变形的微调的部分。

2.根据权利要求1所述的可变形镜，其中，所述多个分割电极包括第一分割电极和围绕该第一分割电极设置的至少一个第二分割电极。

3.根据权利要求1所述的可变形镜，其中，

该第二电极膜被分成所述多个分割电极；

在该第二电极膜的、与该压电膜相对一侧的表面上形成绝缘膜；以及

该镜膜形成在该绝缘膜的、与该第二电极膜相对一侧的表面上。

4.根据权利要求2所述的可变形镜，其中，包括偶数个所述第二分割电极。

5.根据权利要求2所述的可变形镜，其中，该第一分割电极形成为椭圆形，并且所述第二分割电极围绕该第一分割电极设置。

6.根据权利要求2所述的可变形镜，其中，

该第二电极膜被分成所述多个分割电极；

在该第二电极膜的、与该压电膜相对一侧的表面上形成绝缘膜；以及

该镜膜形成在该绝缘膜的、与该第二电极膜相对一侧的表面上。

7.根据权利要求4所述的可变形镜，其中，该第一分割电极形成为椭圆形，并且所述第二分割电极围绕该第一分割电极设置。

8.根据权利要求4所述的可变形镜，其中，

该第二电极膜被分成所述多个分割电极；

在该第二电极膜的、与该压电膜相对一侧的表面上形成绝缘膜；以及该镜膜形成在该绝缘膜的、与该第二电极膜相对一侧的表面上。

9.根据权利要求5所述的可变形镜，其中，

该第二电极膜被分成所述多个分割电极；

在该第二电极膜的、与该压电膜相对一侧的表面上形成绝缘膜；以及

该镜膜形成在该绝缘膜的、与该第二电极膜相对一侧的表面上。

10.根据权利要求7所述的可变形镜，其中，

该第二电极膜被分成所述多个分割电极；

在该第二电极膜的、与该压电膜相对一侧的表面上形成绝缘膜；以及

该镜膜形成在该绝缘膜的、与该第二电极膜相对一侧的表面上。

11.一种装备有根据权利要求1所述的可变形镜的光学拾取装置。

12.一种装备有根据权利要求2所述的可变形镜的光学拾取装置。

13.一种装备有根据权利要求3所述的可变形镜的光学拾取装置。

14.一种装备有根据权利要求4所述的可变形镜的光学拾取装置。

15.一种装备有根据权利要求5所述的可变形镜的光学拾取装置。

16.一种装备有根据权利要求6所述的可变形镜的光学拾取装置。

17.一种装备有根据权利要求7所述的可变形镜的光学拾取装置。

18.一种装备有根据权利要求8所述的可变形镜的光学拾取装置。

19.一种装备有根据权利要求9所述的可变形镜的光学拾取装置。

20.一种装备有根据权利要求10所述的可变形镜的光学拾取装置。