[发明专利]形成预成型引线框的方法有效
申请号: | 200710180243.8 | 申请日: | 2007-10-16 |
公开(公告)号: | CN101414565A | 公开(公告)日: | 2009-04-22 |
发明(设计)人: | 徐雪松;白志刚;许南;姚晋钟 | 申请(专利权)人: | 飞思卡尔半导体(中国)有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 付建军 |
地址: | 200000中国上海浦东*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 形成 成型 引线 方法 | ||
技术领域
[01]本发明涉及集成电路(IC)的封装,尤其涉及一种形成预成型引 线框的方法,该预成型引线框用于形成半导体封装。
背景技术
[02]引线框是向半导体管芯提供电互连的结构。也就是说,将管芯 附接到引线框上,接着,通常通过引线接合工艺用导线将管芯的焊盘 电连接到引线框的引线上。然后,利用塑性模塑料(mold compound) 对管芯、引线框和导线进行封装。引线的暴露区向管芯提供电互连。
[03]为了向其它器件提供优良的电连接,必须使引线的一些部分充 分暴露。如果该引线区域由模塑料覆盖、或者未被充分暴露、或者不 易接触到,就会出现诸如引线与衬底或印刷电路板(PCB)的可焊性问 题。
[04]图1-4图解说明了半导体封装工艺的步骤。图1示出了一对包 括半蚀刻部分12的引线框10。集成电路14附接到引线框10的台板 (flag)16处。通常通过引线接合工艺用导线18将集成电路14电连接 到引线框10的引线20。在附图中,两个引线框10是引线框的条的部 分,该引线框条被安装到带22上。图2示出了放置在模套(mold chase) 24中的引线框10。箭头表示模流的方向。图3示出了注入模套24中 的模塑料26。模塑料26覆盖了引线框10、集成电路14和导线18。
[05]图4是引线框10之一的接触区的放大视图,其具体为台板16 和引线20的半蚀刻部分。注意,模塑料26填进了台板16和引线20 之间的空间,此外,模塑料26和引线框的底部表面是平坦的。能增 加引线框和模塑料之间的括脚(stand-off)是有益的。
附图说明
[06]当结合附图阅读时,能更好地理解以下本发明的优选实施例的 详细描述。通过示例来说明本发明,而附图不限制本发明,其中,相 同的附图标记表示相同的元素。应该明白:为了便于理解本发明,附 图未按比例且被简化。
[07]图1是其上被附接有管芯的传统引线框条的放大截面视图;
[08]图2是放置在模套中的、图1的引线框的放大截面视图;
[09]图3是其中注入模塑料的图2的模套中的引线框的放大截面视 图;
[10]图4是从模套中移走后的、图1的引线框的部分的放大截面视 图;
[11]图5-9是图解说明根据本发明实施例的形成预成型引线框的方 法的放大截面视图;和
[12]图10是图解说明根据本发明实施例的封装半导体集成电路的 方法的放大截面视图。
具体实施方式
[13]以下结合附图给出的详细说明旨在描述本发明的当前优选实施 例,而并不代表可实施本发明的唯一形式。应该理解:通过被认为包 括在本发明的精神和范围内的不同实施例可实现相同的和等同的功 能。在附图中,相同的附图标记始终表示相同的元素。
[14]在一实施例中,本发明提供了一种形成预成型引线框的方法, 该方法包括以下步骤:将第一带附接到引线框的第一面,该引线框包 括引线和管芯焊盘,而将第二带附接到所述引线框的相反的第二面。 将附接了带的引线框装入模具,而将模塑料的第一流注入模具,使得 该模塑料流进第一带和上模套之间的空间。开始将模塑料的第二流注 入模具,并且该模塑料流进第一带和第二带之间(即,引线框的引线和 管芯焊盘之间)的空间。将引线框从模具中移走,且将第一带和第二带 移走,使得引线和管芯焊盘暴露。或者,可将第二带移走,而留下第 一带以进行进一步处理。
[15]在另一实施例中,本发明提供了一种预成型多个引线框的方法。 除了给多个引线框附接带并放置在模具中,该方法类似于上述方法。 引线框可以条或阵列形式来提供,随后利用单切处理而将其分开。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造