[发明专利]表面形貌量测方法及其装置

权利要求书

1.一种表面形貌量测装置，用于量测一待测物的表面形貌，包含：一激光单元，其发射激光至该待测物的表面以形成一激光定位点；一量测单元，根据激光定位点进行待测物表面的量测；以及

一移动平台，其夹持该激光单元与该量测单元中之一者进行至少一维的移动；

其中，该待测物与激光单元彼此间的相对位置不改变。

2.如权利要求1所述的表面形貌量测装置，其中，该激光单元包含供激光通过的一透镜。

3.如权利要求1所述的表面形貌量测装置，其中，该移动平台是进行四维移动。

4.如权利要求3所述的表面形貌量测装置，其中，该四维移动包括X、Y、Z三维方向的移动及沿XZ平面的旋转。

5.如权利要求1所述的表面形貌量测装置，其中，该移动平台夹持该激光单元与该待测物。

6.如权利要求1所述的表面形貌量测装置，其中，该移动平台夹持该量测单元。

7.如权利要求1所述的表面形貌量测装置，其中，该量测单元为量测镜头。

8.一种表面形貌量测方法，用于量测一待测物的表面形貌，包含：

(1)提供一激光单元、一量测单元以及一移动平台，其中该激光单元发射激光至该待测物的表面以形成一激光定位点，该量测单元根据激光定位点进行待测物表面的量测，该移动平台夹持该激光单元与该量测单元中之一于X、Y、Z三维方向上进行移动及沿XZ平面旋转，且该待测物与激光单元彼此间的相对位置不改变；

(2)调整该移动平台，使该量测单元对该待测物进行对焦；

(3)将该移动平台沿Y轴旋转一特定角度；

(4)调整该移动平台的Z方向，使量测单元对该待测物进行精密对焦，以获得一第一影像；

(5)重复步骤(3)至(4)，以获得一第二影像；以及

(6)以该激光定位点做为参考点，进行第一影像与第二影像的迭合以获得待测物的表面形貌。

9.如权利要求8所述的表面形貌量测方法，其中，该步骤(2)包含有下列步骤：

(2-1)调整该移动平台的X方向与Y方向，使量测单元对准该移动平台的X轴与Y轴交点；以及

(2-2)调整该移动平台的Z方向，使量测单元对该待测物进行初步对焦。

10.如权利要求8所述的表面形貌量测方法，其中，步骤(6)包含：

(6-1)对各影像，以任意点为旋转中心，反转量测时的Y轴旋转量；

(6-2)以较高的阈值撷取激光定位点；

(6-3)根据激光定位点在影像中的相对位置，进行X方向和Y方向的偏移校正；

(6-4)根据激光定位点上的形貌的高度值，进行Z方向上相对高度的偏移校正；以及

(6-5)将校正后的影像进行迭合。

11.如权利要求8所述的表面形貌量测方法，其中，该激光单元包含供激光通过的一透镜。

12.如权利要求8所述的表面形貌量测方法，其中，该移动平台夹持该激光单元与该待测物。

13.如权利要求8所述的表面形貌量测方法，其中，该移动平台夹持该量测单元。

14.如权利要求8所述的表面形貌量测方法，其中，该量测单元为量测镜头。