[发明专利]液滴喷头的控制方法、绘图方法和液滴喷出装置

权利要求书

1.一种液滴喷出装置，对液滴喷头的腔室加压，从与该腔室连通的喷咀向工件喷出功能液，其特征在于，

具有使所述液滴喷头和所述工件相对移动的工作台，

所述液滴喷头具有对所述腔室加压的加压部，

在不从所述喷咀喷出所述功能液时，所述加压部以不从所述喷咀喷出所述功能液的程度多次连续对所述腔室加压，使所述功能液压力变动，

所述加压部改变对所述腔室加压的压力的频率而进行加压。

2.如权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，

具有送风部，该送风部生成使液滴喷出装置产生的热移动并排出的气流，

在不从所述喷咀喷出所述功能液时对腔室的加压，在液滴喷头位于风速快的部位时所述加压部对所述腔室加压的压力的频率，比在液滴喷头位于风速慢的部位时所述加压部对所述腔室加压的压力的频率高。

3.如权利要求2所述的液滴喷出装置，其特征在于，

具有多个所述液滴喷头，

在不从所述喷咀喷出所述功能液时对腔室的加压，位于风速快的部位的所述液滴喷头的所述加压部对所述腔室加压的压力的频率，比位于风速慢的部位的所述液滴喷头的所述加压部对所述腔室加压的压力的频率高。

4.如权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，

具有测定所述液滴喷头的温度的测定部，

在不从所述喷咀喷出所述功能液时对腔室的加压，在所述液滴喷头的温度低时所述加压部对所述腔室加压的压力的频率，比在所述液滴喷头的温度高时所述加压部对所述腔室加压的压力的频率高。

5.如权利要求4所述的液滴喷出装置，其特征在于，

具有多个所述液滴喷头，

在不从所述喷咀喷出所述功能液时对腔室的加压，温度低的所述液滴喷头的所述加压部对所述腔室加压的压力的频率，比温度高的所述液滴喷头的所述加压部对所述腔室加压的压力的频率高。

6.如权利要求1～5任一项所述的液滴喷出装置，其特征在于，

所述加压部改变对所述腔室加压的压力的振幅而进行加压，以替代改变对所述腔室加压的压力的频率而进行加压。

7.如权利要求1～5任一项所述的液滴喷出装置，其特征在于，

所述加压部改变对所述腔室加压的压力的压力变动的占空比而进行加压，以替代改变对所述腔室加压的压力的频率而进行加压。

8.一种绘图方法，用液滴喷头的加压部对腔室加压，从与该腔室连通的喷咀向工件喷出功能液而进行绘图，其特征在于，具有：

从所述喷咀向所述工件喷出所述功能液的绘图工序；和

由洗净所述喷咀的洗净工序，或测定从所述喷咀喷出的所述功能液的喷出量的喷出量测定工序，或不从所述喷咀进行喷出的待机工序等构成的保养工序，其中，

在不从所述喷咀喷出所述功能液时，所述加压部以不从所述喷咀喷出所述功能液的程度多次连续对所述腔室加压，使所述功能液压力变动，

在所述绘图工序和所述保养工序中，以不同的频率进行加压。

9.一种绘图方法，用多个液滴喷头的加压部对腔室加压，从与该腔室连通的喷咀向工件喷出功能液而进行绘图，其特征在于，

在不从所述喷咀喷出所述功能液时，所述加压部以不从所述喷咀喷出所述功能液的程度多次连续对所述腔室加压，使所述功能液压力变动，

以如下方式对腔室加压，位于风速快的部位的所述液滴喷头的所述加压部对所述腔室加压的压力的频率，比位于风速慢的部位的所述液滴喷头的所述加压部对所述腔室加压的压力的频率高。

10.一种绘图方法，用液滴喷头的加压部对腔室加压，从与该腔室连通的喷咀向工件喷出功能液而进行绘图，其特征在于，

在不从所述喷咀喷出所述功能液时，所述加压部以不从所述喷咀喷出所述功能液的程度多次连续对所述腔室加压，使所述功能液压力变动，

用测定部测定所述液滴喷头的温度，

以如下方式对腔室加压，在所述液滴喷头的温度低时所述加压部对所述腔室加压的压力的频率，比在所述液滴喷头的温度高时所述加压部对所述腔室加压的压力的频率高。

11.如权利要求8～10任一项所述的绘图方法，其特征在于，

所述加压部改变对所述腔室加压的压力的振幅而进行加压，以替代改变对所述腔室加压的压力的频率而进行加压。