[发明专利]有机金属化合物无效
申请号: | 200710181801.2 | 申请日: | 2001-06-29 |
公开(公告)号: | CN101139365A | 公开(公告)日: | 2008-03-12 |
发明(设计)人: | H·蔡 | 申请(专利权)人: | 伊利诺伊大学评议会 |
主分类号: | C07F15/06 | 分类号: | C07F15/06;H01L21/70;C23C16/18 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 周慧敏;李炳爱 |
地址: | 美国伊*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机 金属 化合物 | ||
1.式(R1)mM(PR23)x的有机金属化合物,其中M是选自锰,锝,铼,铁,钌,锇,镍,钯,和铂的金属;各R1独立地选自氢,氘,H2,D2以及式-CR32-CR32-R4基团,各R2独立地选自芳烷基,芳氧基,芳烷氧基,烷基甲硅烷基,芳基甲硅烷基,芳烷基甲硅烷基,烷氧基甲硅烷基,芳氧基甲硅烷基,芳烷氧基甲硅烷基,烷基甲硅烷氧基,芳基甲硅烷氧基,芳烷基甲硅烷氧基,烷氧基,烷氧基甲硅烷氧基,芳氧基甲硅烷氧基,芳烷氧基甲硅烷氧基,烷基甲硅烷基烷基,芳基甲硅烷基烷基,芳烷基甲硅烷基烷基,烷氧基甲硅烷基烷基,芳氧基甲硅烷基烷基,芳烷氧基甲硅烷基烷基,烷基甲硅烷氧基烷基,芳基甲硅烷氧基烷基,芳烷基甲硅烷氧基烷基,烷氧基甲硅烷氧基烷基,芳氧基甲硅烷氧基烷基,芳烷氧基甲硅烷氧基烷基,烷基甲硅烷基烷氧基,芳基甲硅烷基烷氧基,芳烷基甲硅烷基烷氧基,烷氧基甲硅烷基烷氧基,芳氧基甲硅烷基烷氧基,芳烷氧基甲硅烷基烷氧基,烷基甲硅烷氧基烷氧基,芳基甲硅烷氧基烷氧基,芳烷基甲硅烷氧基烷氧基,烷氧基甲硅烷氧基烷氧基,芳氧基甲硅烷氧基烷氧基,以及芳烷氧基甲硅烷氧基烷氧基;各R3独立地选自氢,氘,C1-C6烷基,C1-C6环烷基,苯基,苄基,(C1-C2烷基或烷氧基)3-甲硅烷基,以及(C1-C2烷基或烷氧基)3-甲硅烷氧基以及其中至少两个R3选自氢和氘;R4为氢或氘;以及其中(a)当M是锰,锝或铼时,m是1;x是5以及m+x是6;以及其中所述的R2基团不完全一样;以及(b)当M是铁,钌或锇时,m是0,1,2,3或4;x是2,3,4或5以及m+x是4,5,6或7;以及其中所述的R2不完全一样;以及(c)当M是镍,钯或铂时,m是0或2,x是2,3或4以及m+x是2,3,4,5或6;以及其中所述的R2不完全一样。
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